[发明专利]太阳能电池的制造装置及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池制造装置，其特征在于，具有：

装料闸室，其通过切换大气气氛和真空气氛取放基板；

处理室，其在真空气氛中对太阳能电池用的基板导入pn结形成用的杂质离子；以及

搬运室，其内置有在装料闸室和处理室之间搬运基板的搬运装置；

所述杂质离子的导入通过用离子枪发出的杂质离子照射来进行，离子枪设置为其离子照射面与搬运至处理室的基板相对设置。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池制造装置，其特征在于：

以所述离子照射面朝向基板的一侧为下，该离子枪具有

等离子体产生室，其能够产生含有杂质离子的等离子体；以及

栅板，其设置在该等离子体产生室的下端部，构成离子照射面；

该栅板上形成多个通孔，形成该通孔的区域大于所述基板面积，将该栅板保持为规定的电压，等离子体产生室内产生的等离子体中的杂质离子通过各通孔被引出到下方。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池制造装置，其特征在于，还具有：

掩膜，其位于所述离子照射面和基板之间局部屏蔽基板；以及

运送装置，其在离子照射面和基板之间的屏蔽位置上进退自如地运送该掩膜。

4.根据权利要求3所述太阳能电池制造装置，其特征在于：

所述搬运装置是一个基板用旋转工作台，其在平行于离子照射面的单一平面上自由旋转，在周方向以规定间隔保持多张基板；

所述运送装置是一个掩膜用旋转工作台，其在所述基板用旋转工作台上以该基板用旋转工作台的旋转中心为中心自由旋转，在周方向上以规定间隔保持多块掩膜。

5.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

离子照射处理工序，从与该基板相对设置的离子枪的离子照射面对太阳能电池用的基板照射选自P、As、Sb、Bi、B、Al、Ga及In中的杂质离子；

缺陷修复工序，通过退火处理来修复因离子照射处理工序而在基板内产生的缺陷；

杂质扩散工序，通过该退火处理使杂质扩散。