[发明专利]显微镜物镜

权利要求书

1.一种显微镜物镜，其特征在于，从物体侧依次具有：

具有正折射力的第一透镜组；

具有正折射力的第二透镜组；和

具有负折射力的第三透镜组，

所述第一透镜组在最靠近物体侧具有将凹面朝向物体侧的正弯月形透镜，

所述第二透镜组具有衍射光学元件，该衍射光学元件具有正折射力，

所述衍射光学元件与通过所述第一透镜组及所述第二透镜组的光束的直径最大部分相比配置在像侧，

当使所述第一透镜组的所述正弯月形透镜的介质的相对于d线的折射率为n1、所述第一透镜组的最靠近物体侧的透镜面的曲率半径为r1、整个系统的焦距为F、通过所述第一透镜组及所述第二透镜组的光束的最大直径为φmax、通过所述衍射光学元件的衍射光学面的光束的最大直径为φDOE时，满足下式的条件：

n1≥1.8

0.5≤(-r1)/F≤4.5

φDOE/φmax＜0.9。

2.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，

当使所述第一透镜组及所述第二透镜组的合成焦距为f12、所述第三透镜组的焦距为f3时，满足下式的条件：

0.3≤f12/(-f3)≤2。

3.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，

当使所述衍射光学元件的焦距为fDOE时，满足下式的条件：

100≤fDOE/F≤1000。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的显微镜物镜，其特征在于，

所述第三透镜组具有至少一片接合透镜，

当使相对于g线的折射率为ng、相对于F线的折射率为nF、相对于C线的折射率为nC、使部分色散比θgF由下式θgF＝(ng-nF)/(nF-nC)来定义、使构成所述第三透镜组所具有的所述接合透镜的正透镜和负透镜的所述部分色散比之差为ΔθgF3、使色散系数之差为Δυ3时，满足下式的条件：

-0.0035≤ΔθgF3/Δυ3≤-0.002。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的显微镜物镜，其特征在于，

所述第二透镜组具有至少一片接合透镜，

当使相对于g线的折射率为ng、相对于F线的折射率为nF、相对于C线的折射率为nC、使部分色散比θgF由下式θgF＝(ng-nF)/(nF-nC)来定义、使构成所述第二透镜组所具有的所述接合透镜的正透镜和负透镜的所述部分色散比之差为ΔθgF2、使色散系数之差为Δυ2时，满足下式的条件：

-0.0025≤ΔθgF2/Δυ2≤-0.0006。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的显微镜物镜，其特征在于，

当使所述第一透镜组的焦距为f1、所述第二透镜组的焦距为f2时，满足下式的条件：

2≤f1/F≤10

15≤f2/F≤30。