[发明专利]微机械压电三轴陀螺仪和基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴加速计

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求于2010年4月30日提交的题为“MICROMACHINEDPIEZOELECTRIC X-AXIS GYROSCOPE（微机械压电X轴陀螺仪）”（代理人案卷号QUALP030P/101702P1）且转让给本申请受让人的美国临时专利申请No.61/343,598的优先权。本申请还要求于2010年4月30日提交的题为“MICROMACHINED PIEZOELECTRIC Z-AXIS GYROSCOPE（微机械压电Z轴陀螺仪）”（代理人案卷号QUALP031P/101703P1）且转让给本申请受让人的美国临时专利申请No.61/343,599的优先权。本申请还要求于2010年4月30日提交的题为“STACKED LATERAL OVERLAP TRANSDUCER (SLOT)BASED 3-AXIS MEMS ACCELEROMETER（基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴MEMS加速计）”（代理人案卷号QUALP032P/101704P1）且转让给本申请受让人的美国临时专利申请No.61/343,601的优先权。本申请还要求于2010年4月30日提交的题为“MICROMACHINED PIEZOELECTRICX-AXIS & Z-AXIS GYRO SCOPE AND STACKED LATERAL OVERLAPTRANSDUCER(SLOT)BASED 3-AXIS MEMS ACCELEROMETER（微机械压电X轴及Z轴陀螺仪以及基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴MEMS加速计）”（代理人案卷号QUALP034P/101704P2）且转让给本申请受让人的美国临时专利申请No.61/343,600的优先权。本申请还要求于2010年12月30日提交的题为“MICROMACHINED PIEZOELECTRIC X-AXIS & Z-AXISGYROSCOPE AND STACKED LATERAL OVERLAP TRANSDUCER(SLOT)BASED 3-AXIS MEMS ACCELEROMETER（微机械压电X轴及Z轴陀螺仪以及基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴MEMS加速计）”（代理人案卷号QUALP034/101704U2）且转让给本申请受让人的美国专利申请No.12/930,229的优先权。这些在先申请的公开内容被视为本公开的一部分并且通过援引纳入于此。

技术领域

本公开涉及机电系统，尤其涉及多轴陀螺仪和加速计。

相关技术描述

机电系统包括具有电气及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件（例如，镜子）以及电子器件的设备。机电系统可以在各种规模上制造，包括但不限于微米级和纳米级。例如，微机电系统（MEMS）器件可包括具有范围从大约一微米到数百微米或以上的大小的结构。纳米机电系统（NEMS）器件可包括具有小于一微米的大小（包括，例如小于几百纳米的大小）的结构。机电元件可使用沉积、蚀刻、光刻和/或蚀刻掉基板和/或所沉积材料层的部分或添加层以形成电气及机电器件的其它微机械加工工艺来制作。

一种类型的机电系统器件被称为干涉测量（interferometric）调制器（IMOD）。如本文所使用的，术语干涉测量调制器或干涉测量光调制器是指使用光学干涉原理来选择性地吸收和/或反射光的器件。在一些实现中，干涉测量调制器可包括一对导电板，这对导电板中的一者或两者可以是完全或部分透明的和/或反射性的，且能够在施加恰适电信号时进行相对运动。在一实现中，一块板可包括沉积在基板上的静止层，而另一块板可包括与该静止层分离一气隙的反射膜。一块板相对于另一块板的位置可改变入射在该干涉测量调制器上的光的光学干涉。干涉测量调制器器件具有范围广泛的应用，且预期将用于改善现有产品以及创造新产品，尤其是具有显示能力的那些产品。

近来，对制造小型陀螺仪和加速计的兴趣在增长。例如，一些陀螺仪和/或加速计已被纳入移动设备（诸如移动显示设备）中。虽然此类陀螺仪和加速计在某些方面是令人满意的，但是将期望提供改善的小型陀螺仪和加速计。

概述

本公开的系统、方法和设备各自具有若干个创新性方面，其中并不由任何单个方面全权负责本文中所公开的期望属性。