[发明专利]重叠关联成像术中探测的校准有效

专利信息
申请号: 201180032119.1 申请日: 2011-06-27
公开(公告)号: CN103201648A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 安德鲁·迈登 申请(专利权)人: 相位聚焦有限公司
主分类号: G01T1/29 分类号: G01T1/29
代理公司: 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 代理人: 张亚宁
地址: 英国南约*** 国省代码: 英国;GB
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摘要:
搜索关键词: 重叠 关联 成像 探测 校准
【权利要求书】:

1.一种提供图像数据的方法,所述图像数据用于构造目标对象的区域的图像,所述方法包括:

提供参考目标对象的参考衍射图案;

基于参考衍射图案确定探测函数的初始猜测;以及

通过基于探测函数的初始猜测和目标函数的初始猜测的迭代过程,确定响应于至少一个检测器检测到的辐射强度的目标对象的图像数据。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述参考衍射图案基于由至少一个检测器检测到的辐射的强度。

3.根据权利要求1所述的方法,其中由至少一个检测器检测到的辐射反射自参考目标对象。

4.根据权利要求1所述的方法,其中由至少一个检测器检测到的辐射透射通过所述参考目标对象。

5.根据前述的任何一项权利要求所述的方法,其中探测函数的初始猜测用于确定一个或多个目标对象的图像数据。

6.根据前述的任何一项权利要求所述的方法,其中所述参考目标对象是确定图像数据的第一目标对象。

7.根据前述的任何一项权利要求所述的方法,其中所述参考目标对象是只用于校准目的的目标对象。

8.根据前述的任何一项权利要求所述的方法,其中确定探测函数的初始猜测包括:

基于参考衍射图案,估计入射在参考目标对象的探测区域上的辐射的功率,以及

选择探测函数的初始猜测,使得探测函数的初始猜测具有的平均强度等于估计的平均强度。

9.根据权利要求8所述的方法,其中估计平均强度包括:

对参考衍射图案执行快速傅立叶变换,以产生复数的矩阵,以及

对复数的绝对值求和,以产生实数,并且其中

选择探测函数的初始猜测包括:

取所述实数的平方根,以产生实值的数N,

选择探测函数的初始猜测P,使P = MN/ K,其中M是代表探测区域的矩阵,以及K是归一化因子。

10.根据权利要求9所述的方法,其中K是矩阵M中的值的总和。

11.根据权利要求9所述的方法,进一步包括提供探测区域的估计,其中

矩阵M中的值在估计的探测区域以外是零,以及在估计的探测区域内是1,以及

K等于矩阵M中1值的数目。

12.一种机器可读数据存储介质,包括计算机可执行指令,当由计算机执行时,所述计算机可执行指令执行按照前述的任何一项权利要求所述的方法。

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