[发明专利]包含铅-碲-锂-钛-氧化物的厚膜浆料以及它们在制造半导体装置中的用途有效
申请号: | 201180032359.1 | 申请日: | 2011-05-04 |
公开(公告)号: | CN102958861A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | A·F·卡罗尔;K·W·杭;B·J·劳克林;K·R·米克斯卡;C·托拉迪;P·D·韦尔努伊 | 申请(专利权)人: | E·I·内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | C03C8/10 | 分类号: | C03C8/10;C04B35/01;H01B1/22;H01L31/0224;H01B1/16 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包含 氧化物 浆料 以及 它们 制造 半导体 装置 中的 用途 | ||
1.厚膜浆料组合物,包含:
a)基于所述组合物中的总固体计,85-99.5重量%的导电金属或其衍生物;
b)基于固体计0.5-15重量%的铅-碲-锂-钛-氧化物;和
c)有机介质。
2.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述导电金属包括银。
3.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述铅-碲-锂-钛-氧化物中的铅与碲的摩尔比介于5/95与95/5之间。
4.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述铅-碲-锂-钛-氧化物包含:
25-65重量%的PbO,
25-70重量%的TeO2,
0.1-5重量%的Li2O,以及
0.1-5重量%的TiO2。
5.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述有机介质包括聚合物。
6.根据权利要求5所述的厚膜浆料,其中所述有机介质还包括选自溶剂、稳定剂、表面活性剂和增稠剂的一种或多种添加剂。
7.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述导电金属为所述固体的90-95重量%。
8.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述铅-碲-锂-钛-氧化物为至少部分结晶的。
9.根据权利要求4所述的厚膜浆料,还包含选自下列的添加剂:PbF2、SiO2、Na2O、K2O、Rb2O、Cs2O、MgO、CaO、SrO、BaO、V2O5、Al2O3、ZrO2、BiF3、MoO3、Mn2O3、Ag2O、ZnO、Ga2O3、GeO2、In2O3、SnO2、Sb2O3、Bi2O3、P2O5、CuO、NiO、Cr2O3、Fe2O3、CoO、Co2O3和CeO2。
10.根据权利要求1所述的厚膜浆料,其中所述铅-碲-锂-钛-氧化物还包含一种或多种元素的氧化物,所述元素选自Si、Na、K、Rb、Cs、Mg、Ca、Sr、Ba、V、Zr、Mo、Mn、Zn、B、P、Se、Sn、Ga、Ge、In、Al、Sb、Bi、Ce、Cu、Ni、Cr、Fe、Co和Ag。
11.方法,包括:
(a)提供半导体基底,所述半导体基底包括沉积到所述半导体基底的至少一个表面上的一个或多个绝缘膜;
(b)将厚膜浆料组合物施加到所述绝缘膜的至少一部分上以形成层状结构,其中所述厚膜浆料组合物包含:
i)基于所述组合物中的总固体计,85-99.5重量%的导电金属或其衍生物;
ii)基于固体计0.5-15重量%的铅-碲-锂-钛-氧化物;和
iii)有机介质;以及
(c)焙烧所述半导体基底、一个或多个绝缘膜以及厚膜浆料,从而形成与所述一个或多个绝缘层接触并与所述半导体基底电接触的电极。
12.根据权利要求11所述的方法,其中将所述厚膜浆料组合物以图案的方式施加到所述绝缘膜上。
13.根据权利要求11所述的方法,其中所述焙烧在空气或含氧气氛中进行。
14.制品,包括:
(a)半导体基底;
(b)在所述半导体基底上的一个或多个绝缘层;以及
(c)与所述一个或多个绝缘层接触并与所述半导体基底电接触的电极,所述电极包含导电金属和铅-碲-锂-钛-氧化物。
15.根据权利要求14所述的制品,其中所述制品为太阳能电池。
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