[发明专利]高通量太阳能电池烧蚀系统

权利要求书

1.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：

从单激光源产生激光束；

将所述激光束沿着第一激光束路径和第二激光束路径分离；

在第一扫描步骤中，沿着所述第一激光束路径引导所述激光束，以根据第一图案扫描第一工位中的第一晶片；

将所述第一晶片从所述第一工位移动到第二工位，并且将第二晶片移动到所述第一工位；

在所述第一扫描步骤之后以及移动所述第一晶片和所述第二晶片之后的第二扫描步骤中，沿着所述第二激光束路径引导所述激光束，以根据第二图案扫描所述第二工位中的所述第一晶片，所述第二图案是所述第一图案的镜像，并且沿着所述第一激光束路径引导所述激光束，以根据所述第一图案扫描所述第二晶片，对所述第一晶片和所述第二晶片的扫描实质上同时进行。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图案和所述第二图案形成暴露太阳能电池的扩散区的接触孔，所述太阳能电池在所述晶片上制造，并且还包括在所述接触孔中形成金属触点，所述金属触点与所述扩散区电连接。

3.根据权利要求1所述的方法，其中在所述第二扫描步骤期间，将激光束引导至所述第一晶片上是使用从属于主激光扫描器的多个激光扫描器中的第一个进行的，其中所述主激光扫描器用于将所述激光束引导至所述第二晶片。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述多个激光扫描器和所述主激光扫描器包括检流计激光扫描器。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

将所述第一晶片从所述第二工位移出，将所述第二晶片从所述第一工位移动到所述第二工位，并且将第三晶片移动到所述第一工位；

在所述第二扫描步骤之后以及移动所述第一晶片、所述第二晶片和所述第三晶片之后的第三扫描步骤中，沿着所述第二激光束路径引导所述激光束，以根据所述第二图案扫描所述第二工位中的所述第二晶片，并且沿着所述第一激光束路径引导所述激光束，以根据所述第一图案扫描所述第三晶片，对所述第二晶片和所述第三晶片的扫描实质上同时进行。

6.根据权利要求1所述的方法，其中移动所述第一晶片包括旋转支承所述第一晶片的转台。

7.一种晶片加工系统，所述系统包括：

多个工位；

具有位置的转台，所述位置用于所述多个工位中的每一个，所述位置被构造为支承多个晶片；

单激光源；

适于将来自所述单激光源的主激光束分离成第一激光束和第二激光束的分束器；

适于引导所述第一激光束的主激光扫描器，由此根据第一图案扫描所述多个晶片中的第一个；

适于通过所述主激光扫描器控制并且引导所述第二激光束的从属激光扫描器，由此根据第二图案扫描所述多个晶片中的第二个，所述第二图案是所述第一图案的镜像，该扫描与通过所述主激光扫描器的所述第一激光束对所述多个晶片中的所述第一个的扫描实质上同时进行。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述从属激光扫描器包括检流计激光扫描器。

9.根据权利要求7所述的系统，其中以所述单激光源相同的功率级将所述第一图案扫描到所述多个晶片中的所述第一个和将所述第二图案扫描到所述多个晶片中的所述第二个。

10.根据权利要求7所述的系统，还包括所述多个工位中的一个工位上的视觉系统，所述视觉系统被配置为识别所述转台上的所述多个晶片的位置。

11.根据权利要求7所述的系统，还包括所述多个工位中的所述多个晶片加载到所述转台上的一个工位。

12.根据权利要求7所述的系统，其中所述第一图案和所述第二图案以所述单激光源的相同功率级刻划。