[发明专利]氟系表面活性剂、使用其的涂层组合物以及抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201180033318.4 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102971391A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 笹本慎;铃木秀也 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/00 | 分类号： | C09K3/00;C08F290/06;C09D7/12;C09D201/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面活性剂 使用 涂层 组合 以及 抗蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种氟系表面活性剂，其特征在于，其为将具有聚（全氟亚烷基醚）链并在其两末端具有聚合性不饱和基团的聚合性单体（A）、和具有氧化亚烷基以及聚合性不饱和基团的聚合性单体（B）作为必需的单体共聚而成的共聚物。
2.根据权利要求1所述的氟系表面活性剂，其中，所述聚合性单体（B）为下述通式（B1）所表示的聚合性单体，
式（B1）中，R1为氢原子或者甲基；X、Y以及Z为各自独立的亚烷基；p、q以及r分别为0或者1以上的整数；而且，p、q以及r的总和为1以上的整数；R2为氢原子或者碳原子数1~6的烷基。
3.一种涂层组合物，其特征在于，其含有权利要求1或2所述的氟系表面活性剂。
4.一种抗蚀剂组合物，其含有权利要求1或2所述的氟系表面活性剂。
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