[发明专利]漏泄检查装置及漏泄检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及在汽车部件、飞机部件等各种民用以及工业用的部件或容器中，定量检查因这些构造体本身或焊接等卡合部及密封部的缺陷而产生的漏泄的漏泄检查装置以及漏泄检查方法。

背景技术

以汽车、飞机的各种部件为首，在构成煤气设备、自来水设备的各种部件进而在食品·医药用品等的容器等中，需要检查因这些构造体本身或焊接等接合部及密封部的缺陷而产生的漏泄，为此利用有表1所示的漏泄检查法、即“加压发泡法”、“水中发泡法”、“染色探伤法”、“超声波法”、“差压法”、“漏气检测法”等。

[表1]

漏泄检查方法的检测原理与定量性

在各种部件、容器的生产现场，以允许漏泄流量以下为合格的漏泄检查成为主流，因此多使用能够定量漏泄流量的“差压法”与“漏气检测法”这两种方法。

例如，在专利文献1中公开了差压法的漏泄检查装置，在专利文献2中公开了漏气检测法的氦气漏泄检测装置。

在图3中示出依据作为现有技术的差压法进行的漏泄检查的示意图。在差压法中，对被检验体与无漏泄的样件（master）进行气体加压，且在关闭加压管线的阀后，在恒定时间ΔT（s）后以差压传感器测定被检验体与样件的压力差ΔP（Pa）。当设定被检验体内部的体积为V（m³）时，漏泄流量Q（Pam³s^-1）能够用Q＝V（ΔP／ΔT）来估算。使用该差压法的漏泄检查装置的检测分辨率（检测下限）为10^-4Pam³s^-1左右，因此主要被用作10^-3Pam³s^-1以上的允许漏泄流量的部件的检查。

在图4中示出作为另一个现有技术的漏气检测法的示意图。向被检验体填充0.5MPa左右的高压探伤气体。被检验体处于真空容器之中，当存在漏泄的情况下探伤气体漏出至真空容器内，并由气体检测装置对该气体漏出情况进行检测。在此该气体检测装置内置有具有已知的漏泄流量的修正漏泄器（leak），能够测定漏泄流量（Pam³s^-1）。

作为探伤气体主要使用氦气，该氦检测装置（氦漏泄检验器）的检测分辨率为10^-10Pam³s^-1左右，因此主要在10^-3Pam³s^-1以下的微小的允许漏泄流量的部件检查中利用漏气检测法。此外，将以氦气作为探伤气体的漏气检测法称作氦漏泄检测法。

专利文献1：日本特开平5-296871号公报

专利文献2：日本特开2005-140504号公报

在民用以及工业用的各种部件、容器中，存在具有高精度且高耐压化的情况，因此兼顾高耐压检查的微小漏泄检查法的确立成为迫切的课题。

在以气体作为探伤介质的“差压法”与”漏气检测法”中，当探伤介质的压力需要在1MPa以上的情况下，漏泄检查装置为了确保安全而需要配备用于根据高压气体安全法而形成防破裂规格的安全设备，存在装置成本较以往大幅度增大的问题，并且存在受装置本身的限制、周围、环境的限制而更难以应对的问题。

在差压法中，在向被检验体与样件的内部供给高压气体后关闭阀来进行检查。另一方面，也考虑将液体用作探伤介质的漏泄检查方法，但在该情况下，用于测定因阀关闭而产生的压力变动较大的情况和因膜片的变形而导致电气容量变化的结构亦即差压传感器的灵敏度特性会因使用液体而极大变更。因此，在漏泄检查中难以将液体用作探伤介质。

发明内容

本发明正是鉴于上述的以往的问题而形成的，其目的在于提供使用液体作为探伤介质，能够对漏泄流量进行定量，且同时能够进行0.1MPa的大气压以上、特别是1MPa~1GPa的高压力的耐压检查的漏泄检查装置以及漏泄检查方法。