[发明专利]用于去离子水的碳酸化的装置、系统及方法有效

专利信息
申请号: 201180034072.2 申请日: 2011-05-26
公开(公告)号: CN102986008A 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: J·赛韦特;U·布拉默;C·戈茨查克;J·洛尔 申请(专利权)人: MKS仪器股份有限公司
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 邢德杰
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 离子水 碳酸 装置 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种用于使去离子水碳酸化的系统,包括:

去离子水源;

二氧化碳气体源;

接触器,所述接触器经由所述接触器的至少一个入口与所述去离子水源和所述二氧化碳气体源流体连通,所述接触器产生碳酸化的去离子水;

至少一个传感器,所述至少一个传感器与所述接触器的所述至少一个入口或至少一个出口流体连通,用于测量所述去离子水的流速以及所述去离子水的温度;以及

控制器,所述控制器与所述至少一个传感器以及所述二氧化碳气体源通信,用于确定所述二氧化碳气体源提供给所述接触器的二氧化碳气体的量,使得在所述接触器中产生特定电导率的碳酸化的去离子水,其中所述确定基于所测得的流速和温度。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括与所述二氧化碳气体源及所述接触器流体连通的一个或多个阀,用于控制进入所述接触器的二氧化碳气体的量和流速。

3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述控制器使所述一个或多个阀在开通和关闭位置之间变化,使得从所述二氧化碳气体源流动到所述接触器的二氧化碳气体的平均量基本上等于所确定的由所述二氧化碳气体源提供的二氧化碳气体的量。

4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,还包括与所述二氧化碳气体源和所述一个或多个阀流体连通的一个或多个流量限制器。

5.如权利要求3所述的系统,其特征在于,还包括与所述二氧化碳气体源和所述一个或多个阀流体连通的一个或多个流量孔道。

6.如权利要求3所述的系统,其特征在于,还包括与所述一个或多个阀及所述接触器流体连通的一个或多个流量限制器。

7.如权利要求3所述的系统,其特征在于,还包括与所述一个或多个阀及所述接触器流体连通的一个或多个流量孔道。

8.如权利要求2所述的系统,其特征在于,还包括至少四个流量限制器。

9.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括用于排出一定量的二氧化碳气体的所述接触器的出口。

10.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述控制器确定要排出的二氧化碳气体的量,使得在所述接触器中产生特定电导率的碳酸化的去离子水。

11.如权利要求10所述的系统,其特征在于,还包括与所述接触器的出口流体连通的至少一个流量限制器,以及用于控制从所述接触器排出的二氧化碳气体的量和流速的排放管。

12.如权利要求10所述的系统,其特征在于,还包括与所述接触器的出口流体连通的至少一个流量孔道,以及用于控制从所述接触器排出的二氧化碳气体的量和流速的排放管。

13.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述控制器设定在所述至少一个入口处的二氧化碳气体的压力。

14.如权利要求1所述的系统,其特征在于,由所述去离子水源提供的去离子水以及由所述二氧化碳源提供的二氧化碳在进入所述接触器之前混合。

15.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括与所述去离子水源和所述碳酸化的去离子水的出口流体连通的旁通单元。

16.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括:

第一传感器,所述第一传感器与所述接触器的至少一个入口流体连通,用于测量所述去离子水的流速;以及

第二传感器,所述第二传感器与所述接触器的至少一个出口流体连通,用于测量所述去离子水的温度。

17.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括:

第一传感器,所述第一传感器与所述接触器的至少一个入口流体连通,用于测量所述去离子水的温度;以及

第二传感器,所述第二传感器与所述接触器的至少一个出口流体连通,用于测量所述去离子水的流速。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器股份有限公司,未经MKS仪器股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180034072.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top