[发明专利]测量多个器件中的层的厚度的方法及生产的器件

权利要求书

1.一种方法，包括：按照公共的生产工艺来生产多个器件；以及使用取决于所述器件的第一元件与所述器件的第二元件之间的重叠面积的第一电性质的指示值来确定所述多个器件之一的层的厚度，所述第二元件经由所述层部分地位于所述第一元件下方，其中所述方法还包括：另外使用取决于所述器件的所述第一元件与所述器件的第三元件之间的重叠面积的第二电性质的指示值，所述第三元件也经由所述层部分地位于所述第一元件的下方，其中（a）所述第一电性质的测量指示值（i）与所述第二电性质的测量指示值（ii）之间的差值提供比（b）所述第一电性质的指示值更可靠的所述层的厚度的指示值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一电性质是所述第一元件和所述第二元件之间的电容；而所述第二电性质是所述第一元件和所述第三元件之间的电容。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述器件的所述第三元件被配置使得所述第二和第三元件的位于所述第一元件下方的部分的各自面积之间存在着（a）非零的面积差，并且其中相比于所述生产工艺在所述多个器件内在所述第一和第二元件之间的（b）重叠面积方面产生的变化，所述生产工艺在所述多个器件之间在所述非零面积差（a）方面产生更小的变化。

4.根据权利要求3所述的方法，包括：基于（i）针对所述非零面积差所确定的值以及（ii）所述第一元件和所述第二元件之间的电容的测量指示值与所述第一元件和所述第三元件之间的电容的测量指示值之间的差值，来确定所述层的厚度。

5.根据权利要求3或权利要求4所述的方法，其中所述非零面积差经受基本上零变化。

6.根据以上任一权利要求所述的方法，其中所述第二和第三元件具有在所述第一元件的边缘部分下方的面积基本相同的部分以及在所述第一元件的更内侧的部分下方的面积不同的部分。

7.根据公共的生产工艺生产的多个器件，其中每个器件都包括层以及经由所述层部分地位于第三元件下方的第一和第二测量元件，其中（a）取决于所述第一元件和所述第三元件之间重叠的面积的第一电性质的测量指示值（i）与取决于所述第二元件和所述第三元件之间的重叠的面积的第二电性质的测量指示值（ii）之间的差值提供比（b）所述第一电性质的指示值更可靠的所述层的厚度的指示值。

8.根据权利要求7所述的多个器件，其中所述第一电性质是所述第一元件和所述第二元件之间的电容，而所述第二电性质是所述第一元件和所述第三元件之间的电容。

9.根据权利要求8所述的多个器件，其中在第一和第二元件位于第三元件下方的部分的面积之间存在着（a）非零的面积差，该非零面积差（a）与（b）所述第一和第三元件之间的重叠面积相比在所述多个器件内经历更小的变化。

10.根据权利要求9所述的多个器件，其中所述非零面积差经受基本上零变化。

11.根据权利要求9或权利要求10所述的多个器件，其中所述第一和第二测量元件具有在所述第三元件的边缘部分下方的面积基本上相同的部分以及在所述第三元件的更内侧的部分下方的面积不同的部分。