[发明专利]RF功率分配装置和RF功率分配方法

权利要求书

1.一种功率分配装置，其包括：

阻抗匹配网络，其配置为传送来自RF功率源的功率；以及

功率分配单元，其配置为向至少一个产生容性耦合等离子体的电极分配来自所述阻抗匹配网络的输出功率，

其中，所述功率分配单元包括：

第一电抗元件，其串联连接至第一电极；

可变电容器，其一端并联连接至所述第一电抗元件和所述第一电极，且另一端接地；以及

第二电抗元件，其一端连接至第一节点，且另一端连接至第二节点，其中，所述可变电容器的所述一端和所述第一电抗元件的一端在所述第一节点处彼此接触，第二电极和所述阻抗匹配网络的输出端在所述第二节点处连接。

2.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述功率分配单元在所述第一电极和所述第二电极的多个位置提供功率，所述第一电极和所述第二电极彼此电连接。

3.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述第一电极和所述第二电极布置为彼此相对，

其中，基底安装在所述第二电极上，以及

其中，所述功率分配单元向所述第一电极和所述第二电极分配功率。

4.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述第一电极和所述第二电极布置为在同一平面上彼此相邻，且所述第一电极和所述第二电极被分为多个子电极，并且

其中，所述功率分配单元向所述第一电极和所述第二电极分配功率。

5.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述第一电抗元件是电感器，且所述第二电抗元件是固定电容器。

6.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述第一电抗元件是固定电容器，且所述第二电抗元件是电感器。

7.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述第二电极毗邻于真空容器的内侧壁布置，并且

其中，所述功率分配单元向所述第一电极和所述第二电极分配功率。

8.如权利要求1所述的功率分配装置，进一步包括：

测量单元，其配置为测量所述电极的负载的功率、电流和电压中的至少一个；以及

控制器，其配置为接收所述测量单元的输出，并控制所述功率分配单元和所述RF功率源，从而控制流向所述电极的所述功率的比例或所述电流的比例。

9.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，进一步包括：

开关，其串联连接至所述电极，且配置为切换供给所述电极的所述功率。

10.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述电极包括基底支撑部件，基底安装在所述基底支撑部件上。

11.如权利要求1所述的功率分配装置，其中，所述RF功率源包括：输出低频率的低频RF功率源和输出高频率的高频RF功率源，并且

其中，所述低频RF功率源和所述高频RF功率源的输出被提供给所述阻抗匹配网络。

12.如权利要求11所述的功率分配装置，其中，所述功率分配单元在所述第一电极和所述第二电极的多个位置提供功率，所述第一电极和所述第二电极彼此电连接。

13.如权利要求11所述的功率分配装置，其中，所述第一电极和所述第二电极布置为彼此相对，

其中，基底安装在所述第二电极上，以及

其中，所述功率分配单元向所述第一电极和所述第二电极分配功率。

14.如权利要求11所述的功率分配装置，其中，所述第一电极和所述第二电极布置为在同一平面上彼此相邻，且所述第一电极和所述第二电极被分为多个子电极，并且

其中，所述功率分配单元向所述第一电极和所述第二电极分配功率。

15.一种功率分配方法，其包括：

设置流向布置在真空容器内部以产生容性耦合等离子体的第一电极的第一功率、第一电压或第一电流以及设置提供给布置在所述真空容器内部的第二电极的第二功率、第二电压或第二电流；

通过阻抗匹配网络向所述第一电极和所述第二电极提供来自RF功率源的功率；

通过操作所述阻抗匹配网络执行匹配；

测量流经所述第一电极和所述第二电极的所述电流、所述电压和所述功率中的至少一个；以及

通过使用功率分配单元控制将要提供给所述第一电极和所述第二电极的所述设置的功率、所述设置的电压或所述设置的电流。