[发明专利]用于光侦测的仪器和方法

权利要求书

1.一种用于侦测靶试样探针体积的方法，包括：

分开并剪切光源波束，以产生包含第一探针波束和第二探针波束的格式化光束，其中，所述第一探针波束和所述第二探针波束部分地重叠；

将至少一个靶试样探针体积和至少一个参考样品探针体积暴露于所述格式化光束；

合并所述第一探针波束和所述第二探针波束，以产生合并光束；和

检测所述合并光束中的干涉图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述格式化光束中的所述第一探针波束和所述第二探针波束是平行的。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，剪切所述第一探针波束和所述第二探针波束两者。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述光源波束被偏振，以产生偏振光束。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，使用至少一个双折射装置来分开并剪切所述偏振光束。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述格式化光束具有探针体积对的网格阵列。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述网格阵列包含探针体积对，其中，所述体积对中的一个是所述第一探针波束的一部分而所述体积对中的另一个是所述第二探针波束的一部分。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，使用至少一个双折射装置来合并所述第一探针波束和所述第二探针波束。

9.一种用于侦测靶试样探针体积的仪器，包括：

剪切装置，用于分开并剪切光源波束，以产生包含第一探针波束和第二探针波束的格式化光束，其中，所述第一探针波束和所述第二探针波束部分地重叠；

合并装置，用于合并所述第一探针波束和所述第二探针波束，以产生合并光束；和

检测装置，用于检测所述合并光束中的干涉图案。

10.根据权利要求9所述的仪器，其中，所述格式化光束中的所述第一探针波束和所述第二探针波束是平行的。

11.根据权利要求9所述的仪器，其中，在两个方向上剪切所述光源波束。

12.根据权利要求9所述的仪器，进一步包括光束偏振器，所述光束偏振器用于将所述源波束偏振成偏振波束，所述偏振波束能够被分为两个分量。

13.根据权利要求11所述的仪器，其中，所述剪切装置包括第一双折射装置和第二双折射装置，所述第一双折射装置用于在第一横向方向上剪切所述光源波束以产生部分剪切探针波束对，并且所述第二双折射装置用于在大致垂直于所述第一横向方向的横向方向上剪切所述部分剪切探针波束对。

14.根据权利要求13所述的仪器，其中，所述合并装置包括第一双折射装置和第二双折射装置，所述第一双折射装置用于在第一横向方向上剪切所述格式化光束以产生部分剪切探针波束对，并且所述第二双折射装置用于在大致垂直于所述第一横向方向的横向方向上剪切所述部分剪切探针波束对。

15.根据权利要求9所述的仪器，其中，所述光束源具有低的空间相干性和低的时间相干性。

16.根据权利要求9所述的仪器，其中，所述光束源是LED或者激光器。

17.根据权利要求9所述的仪器，其中，所述第一波束行进的光路长度大体上等于所述第二光束的光路长度。

18.根据权利要求9所述的仪器，进一步包括补偿装置，所述补偿装置用于补偿或调节两个所述部分剪切光束的相对光路长度。

19.根据权利要求9所述的仪器，进一步包括样品载体，所述样品载体放置成与所述格式化光束相交。

20.根据权利要求9所述的仪器，其中，所述样品载体包括成对的靶试样和参考样品的阵列，并且所述检测装置包括检测装置的阵列，各个检测装置的阵列对应于所述样品载体上的所述成对的靶试样和参考样品的阵列。

21.根据权利要求9所述的仪器，进一步包括相位调制器。