[发明专利]X射线衍射方法以及使用该方法的便携式X射线衍射装置

权利要求书

1.一种便携式X射线衍射装置，其特征在于，

具备：

从方向对试样照射平行的X射线的X射线照射单元；

对由通过该X射线照射单元被照射了X射线的试样衍射的X射线中的平行分量的衍射X射线进行会聚来检测的衍射X射线检测单元；以及

对从检测出所述衍射X射线的所述衍射X射线检测单元输出的信号进行处理的信号处理单元。

2.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

还具备：

对所述试样的照射所述X射线的部位进行摄像的摄像单元；以及

显示该摄像而得的图像的显示单元。

3.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述X射线照射单元具备：

产生连续波长的X射线的X射线管；

开闭通过该X射线管产生的X射线的光路的遮光器单元；

将通过所述X射线管产生的X射线平行化后从斜向照射试样的照射光学单元；以及

内置所述X射线管、所述遮光器单元和所述照射光学单元的X射线照射部箱筒。

4.根据权利要求3所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述照射光学单元由狭缝或者多毛细管形成。

5.根据权利要求1所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述衍射X射线检测单元具备：

使由通过所述X射线照射单元被照射了X射线的上述试样衍射的X射线入射后对平行分量进行会聚的受光光学元件；

检测通过该受光光学元件会聚的衍射X射线的检测光学元件；以及

内置所述受光光学元件和所述检测光学元件的X射线检测部箱体。

6.根据权利要求5所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述受光光学元件由多毛细管构成，平行地形成该多毛细管的来自所述试样的衍射X射线入射侧，将出射所述衍射X射线的一侧的截面形成得小于所述入射侧的截面。

7.根据权利要求5所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述检测光学元件由能量分散型检测器构成。

8.根据权利要求7所述的便携式X射线衍射装置，其特征在于，

所述能量分散型检测器是硅漂移型半导体检测器（SDD）。

9.一种X射线衍射方法，其特征在于，

对试样照射平行的连续波长的X射线，

从由被照射了该X射线的所述试样衍射的衍射X射线中选择平行分量，会聚该选择的衍射X射线的平行分量，

通过能量分散型检测元件检测该会聚的衍射X射线，

对通过该检测元件检测而得的信号进行处理。

10.根据权利要求9所述的X射线衍射方法，其特征在于，

使用狭缝或多毛细管形成所述平行的连续波长的X射线。

11.根据权利要求9所述的X射线衍射方法，其特征在于，

使由所述试样衍射的X射线入射到多毛细管，使入射到该多毛细管的衍射X射线中的平行分量的衍射X射线从比所述多毛细管的所述衍射X射线入射侧直径小的出射侧出射，由此，从由所述试样衍射的X射线中选择平行的分量并使其会聚。

12.一种X射线衍射方法，其特征在于，

对试样的照射X射线的部位进行摄像，

显示该摄像的试样的照射X射线的部位的图像，

通过X射线管产生连续波长的X射线，

将通过该X射线管产生的X射线平行化，从斜向照射显示了所述图像的试样的照射X射线的部位，

从由被照射了该X射线的试样衍射的X射线中选择平行的分量并使其会聚，

通过检测元件检测该选择并会聚的衍射X射线，

对通过该检测元件检测出的信号进行处理。

13.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于，

使用狭缝或多毛细管将通过所述X射线管产生的X射线平行化。

14.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于，

使由所述试样衍射的X射线入射到多毛细管，使入射到该多毛细管的衍射X射线中的平行分量的衍射X射线，从比所述多毛细管的所述衍射X射线入射的一侧直径小的出射侧出射，由此，从通过所述试样衍射的X射线选择平行的分量。

15.根据权利要求12所述的X射线衍射方法，其特征在于，

通过能量分散型检测元件检测所述选择并会聚的衍射X射线。