[发明专利]用于检测至少一个加速度的装置和方法、对应的计算机程序、对应的计算机可读存储介质和这种装置的用途

权利要求书

1.一种用于测量至少一个加速度的装置，所述装置包括：

-至少一个基底平板(7)，和

-至少两个质量块元件(5、6)，

其中，每一个质量块元件(5、6)经由弹性支撑元件(8、9)与所述至少一个基底平板(7)相连接，以及其中，所述支撑元件(8、9)在公共平面中或者在平行平面中偏斜并且所述至少两个质量块元件(5、6)和/或支撑元件(8、9)均具有至少一个测量点(10)，以及其中，

至少一个第一质量块元件(5)和至少一个第二质量块元件(6)的所述支撑元件(8、9)被构建为使得所述至少一个第一质量块元件(5)的支撑元件(8)和所述至少一个第二质量块元件(6)的支撑元件(9)在所述测量点(10)处针对于作用在公共平面中或者在平行平面中的加速度的第一分量具有相同的响应特性，该第一分量作用在第一方向，和针对加速度的作用在垂直于第一分量的方向的第二分量具有相互不同的响应特性。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述装置包括具有质量块元件(5)的至少两个第一支撑元件(8)和具有质量块元件(6)的至少一个第二支撑元件(9)。

3.根据权利要求1或者2所述的装置，其特征在于，

所述装置包括具有质量块元件(5、6)的至少两个第一、第二支撑元件(8、9)。

4.根据上述任意一项权利要求所述的装置，其特征在于，

所述支撑元件(8、9)和所述质量块元件(5、6)的布置被构建成为衬底中的三维微结构，其中所述衬底优选地是单晶硅(Si)或者石英，或者玻璃，或者漆膜。

5.根据上述任意一项权利要求所述的装置，其特征在于，

当采用了多个基底平板(7)时，在测量中包括的具有质量块元件(5、6)的所述支撑元件(8、9)的基底平板(7)均彼此平行排列。

6.根据权利要求1到5中任何一项所述的装置，其特征在于，

为了在象限中测量以及当加速度的作用在第二方向上的分量可忽略时，采用具有质量块元件(5、6)的两个支撑元件(8、9)，这两个支撑元件被排列在所述至少一个基底平板(7)上。

7.根据权利要求1到5中任何一项所述的装置，其特征在于，

为了在一个平面中或者在平行平面中的两个象限中测量一般加速度，具有质量块元件(5、6)的四个支撑元件(8、9)被排列。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，

两个支撑元件(8、9)具有相同设计，但是镜像对称地排列在所述至少一个基底平板(7)上。

9.根据上述任意一项权利要求所述的装置，其特征在于，

所述第一支撑元件(8)以机械或者微机械的具体化形态实现为柱体(8.1)或者实现为条带(8.1)，其中条带(8.1)能够在条带平面中弹性形变并且第二支撑元件(9)以具有区段(9.1、9.2)的成角度或者弯曲柱体或者条带的形式实现。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，

正如从基底平板(7)看去的那样，初始区域中所述第二支撑元件(9)的所述柱体或者条带的所述区段(9.1)的形状和形变能力对应于第一支撑元件(8)的所述柱体和所述或者条带(8.1)的形状和形变能力。

11.根据权利要求9或者10所述的装置，其特征在于，

所述第一支撑元件(8)和所述区段(9.1)在所述第二支撑元件(9)的初始区域中与基底平板(7)一起围成角(β)，其中所述角β≤90°。

12.根据权利要求9到11中任何一项所述的装置，其特征在于，

弯折区段(9.2)与所述第二支撑元件(9)的初始区域中的区段(9.1)一起围成角90°。

13.根据上述任意一项权利要求所述的装置，其特征在于，

通过在至少一个基底平板(7)上排列的至少三个质量块元件(5、6)和/或支撑元件(8、9)，第一支撑元件(8.1)和基底平板(7)之间的角度β2被正向定向，而第二支撑元件(8.1)相对于基底基板(7)负向倾斜了角β3，因而指向与第一支撑元件(8.1)不同的方向。