[发明专利]机电换能器及其制造方法

权利要求书

1.一种机电换能器的制造方法，所述机电换能器包括各自具有至少一个单元的多个元件，该方法包括：

在第一基板上形成绝缘层并在绝缘层中形成间隙；

使第二基板与具有所述间隙的绝缘层接合；

减小第二基板的厚度；

在绝缘层的具有所述间隙的一侧的相对侧，在第一基板中形成分割沟槽以形成多个元件；以及

用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽，其中，

在使第二基板与绝缘层接合的步骤之后，进行所述在第一基板中形成分割沟槽以形成多个元件的步骤和所述用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽的步骤，以及

在所述用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽的步骤之后，进行所述减小第二基板的厚度的步骤。

2.根据权利要求1的方法，其中，第一基板和第二基板分别是第一硅基板和第二硅基板。

3.根据权利要求1或2的方法，其中，所述绝缘部件是由正硅酸乙酯形成的硅氧化物。

4.根据权利要求1～3中的任一项的方法，其中，第一基板的形成有间隙的表面侧的分割沟槽的宽度比第一基板的另一表面侧的分割沟槽的宽度小。

5.根据权利要求1～3中的任一项的方法，其中，第一基板的内部的分割沟槽的宽度比第一基板的两个表面侧的宽度宽。

6.根据权利要求1～5中的任一项的方法，其中，分割沟槽以格状图案被形成，并且，所述绝缘部件以格状图案被形成以便被设置在分割沟槽中。

7.一种机电换能器，包括：

多个元件，所述多个元件中的每一个具有至少一个单元，所述单元包含硅基板、单晶硅振动膜、以及用于以在硅基板的一个表面与振动膜之间形成间隙的方式保持振动膜的振动膜保持部分，

其中，所述机电换能器是通过根据权利要求1～6中的任一项的机电换能器的制造方法来制造的。

8.根据权利要求7的机电换能器，被构成为电容微加工超声换能器阵列。