[发明专利]用于制造透明的电极的方法，用于制造光伏电池的方法以及装置

权利要求书

1.用于在衬底（101）上制造透明的电极（110）的方法，包括：

-提供所述衬底（101），

-将第一透明的能导电的层（111）沉积到所述衬底（101）上，

-将金属氧化物层（115）沉积到所述能导电的层（111）的背离所述衬底（101）的表面（114）上，

-通过热分解将所述金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），

-将第二透明的能导电的层（113）沉积到所述金属颗粒（112）上。

2.用于制造光伏电池（100）的方法，包括：

-提供衬底（101），

-将第一透明的能导电的层（111）沉积到所述衬底（101）上，

-将金属氧化物层（115）沉积到所述能导电的层（111）的背离所述衬底（101）的表面（114）上，

-通过热分解将所述金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），

-将第二透明的能导电的层（113）沉积到所述金属颗粒（112）上，

-将层（120，130，140）施加到所述第二透明的能导电的层（113）上以用于完成所述光伏电池。

3.用于制造光伏电池（100）的方法，包括：

-提供衬底（101），

-将透明的能导电的电极（110）沉积到所述衬底（101）上，

-将第一光敏层堆叠（120）施加到所述透明的能导电的电极（110）上，

-将第一中间层（151）施加到所述第一光敏层堆叠（120）上，

-将金属氧化物层（115）沉积到所述第一中间层（151）的背离所述衬底（101）的表面上，

-通过热分解将所述金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），

-将第二中间层（152）施加到所述金属颗粒（112）上，

-将第二光敏层堆叠（160）施加到所述第二中间层（152）上。

4.用于制造光伏电池（100）的方法，包括：

-提供衬底（101），

-将透明的能导电的电极（110）沉积到所述衬底（101）上，

-将光敏层堆叠（120）施加到所述透明的能导电的电极（110）上，

-将第一后反射层（131）施加到所述光敏层堆叠（120）上，

-将金属氧化物层（115）沉积到所述第一后反射层（131）的背离所述衬底（101）的表面上，

-通过热分解将所述金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），

-将第二后反射层（132）施加到所述金属颗粒（112）上。

5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中所述金属氧化物层（115）通过溅射来沉积。

6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中所述金属氧化物层（115）包含银、金和/或铂。

7.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中用于所述热分解的温度小于或等于500摄氏度。

8.根据权利要求1至7之一所述的方法，其中所述金属氧化物层（115）离解成使得所述金属颗粒（122）具有小于或等于100纳米的平均直径。

9.根据权利要求1至8之一所述的方法，其中在沉积所述金属氧化物层（115）期间输入气态的氧气。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述第二透明的能导电的层（113）的厚度（117）小于或等于50纳米。

11.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一后反射层（131）的厚度（133）小于或等于50纳米。

12.用于光伏电池的装置，包括：

-衬底（101），

-在所述衬底（101）上的透明的能导电的电极（110），所述透明的能导电的电极包括两个透明的能导电的子层（111，113）以及在两个所述子层（111，113）之间平面地伸展的区域，所述区域包括由金属氧化物构成的多个金属颗粒（112）。