[发明专利]脉冲型气体放电激光器的高精度同步

权利要求书

1.用于激励第一和第二气体放电激光器的电气装置，包括：

第一和第二存储电容器；

第一和第二高压电源，其被布置为分别对所述第一和第二存储电容器进行充电；

第一和第二脉冲形成电路，其被布置为使所述第一和第二存储电容器放电以产生第一和第二电脉冲并且将所述第一和第二电脉冲分别传送到所述第一和第二气体放电激光器；以及

开关布置，其被布置为通过所述脉冲形成电路使所述第一和第二存储电容器在其放电之前在预定时间段内连接在一起，用于使所述电容器在其放电之前的充电电压均衡。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述时间段被选择以使所述电容器在所述存储电容器放电之前分离。

3.如权利要求1所述的装置，其中，所述脉冲形成电路被布置为响应于第一和第二放电触发信号而使所述第一和第二存储电容器放电。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述存储电容器在其充电期间不连接在一起，并且电源被布置为在所述电容器连接在一起之前将所述电容器分别充电到第一和第二电压，连接在一起的时间段开始于所述电容器已被充电到所述第一和第二电压之后并且结束于所述电容器放电之前。

5.如权利要求4所述的装置，其中，所述第一电压大于所述第二电压。

6.如权利要求5所述的装置，其中，所述电源为具有电压调节精度的调节型电源，并且其中，所述第一电压和所述第二电压之间的差被选择以与所述开关系统和所述电源的所述电压调节精度配合，使得在所述电容器连接在一起的时间段中电流仅能够从所述第一电容器流到所述第二电容器。

7.如权利要求6所述的装置，其中，所述第一电压和所述第二电压在大约1500伏特和2300伏特之间，所述电源的所述电压调节精度大约为正或负的2.3伏特，并且所述第一充电电压和所述第二充电电压之间的差为大约15伏特。

8.如权利要求1所述的装置，其中，所述开关布置包括以反串联方式彼此连接的第一和第二IGBT二极管模块，并且所述第一和第二IGBT二极管模块分别与所述第一和第二存储电容器连接。

9.如权利要求8所述的装置，其中，所述第一和第二存储电容器分别通过闭合和断开所述IGBT二极管模块而连接和分离。

10.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一和第二脉冲形成电路包括：第一和第二脉冲变压器，所述第一和第二存储电容器通过所述第一和第二脉冲变压器放电以分别产生所述第一和第二电脉冲；以及第一和第二脉冲压缩器，其用于在所述第一和第二电脉冲分别被传送到所述第一和第二气体放电激光器之前在时间上压缩所述第一和第二电脉冲。

11.用于激励第一和第二气体放电激光器的电气装置，包括：

第一和第二存储电容器；

第一和第二高压电源，其被布置为分别将所述第一和第二存储电容器分别充电到第一和第二电压；

第一和第二脉冲形成电路，其被布置为使所述第一和第二存储电容器放电以产生第一和第二电脉冲并且将所述第一和第二电脉冲分别传送到所述第一和第二气体放电激光器；以及

开关布置，其被布置为与所述第一和第二存储电容器配合，使得所述第一和第二存储电容器在充电的同时彼此分离，在充电之后在预定时间段内连接在一起以使其充电电压均衡，然后在其通过所述脉冲形成电路放电之前彼此分离。

12.如权利要求11所述的装置，其中，所述开关布置包括以反串联方式彼此连接的第一和第二IGBT二极管模块，所述第一和第二IGBT二极管模块分别与所述第一和第二存储电容器连接，并且其中，所述第一和第二存储电容器分别通过闭合和断开所述IGBT二极管模块而连接和分离。

13.如权利要求12所述的装置，其中，所述第一电压大于所述第二电压。

14.如权利要求13所述的装置，其中，所述电源为具有电压调节精度的调节型电源，并且所述IGBT二极管模块具有磁通电压，并且其中，所述第一电压和所述第二电压之间的差被选择以超过所述磁通电压和所述电源的所述电压调节精度之和，使得在所述电容器连接在一起的时间段中电流仅能够从所述第一电容器流到所述第二电容器。