[发明专利]渗漏检测装置

权利要求书

1.一种渗漏检测装置，包括用于连接测试室的测试入口（10），连接至测试气体探测器（11）的高真空泵（12），和包括至少两个泵级（22，23）的预真空泵（20），

其特征在于，塞子（25）安装于所述预真空泵的所述泵级（22，23）之间且所述泵级可选择性地串联运行或并联运行。

2.根据权利要求1所述的渗漏检测装置，其特征在于，阀装置（V2）安装于所述预真空泵（20）的泵级（22，23）之间，在处于第一状态时，所述阀装置将所述第一泵级（22）的出口连接至所述入口，且在处于第二状态时，所述阀装置将所述第一泵级（22）的出口连接至所述第二泵级（23）的出口。

3.根据权利要求2所述的渗漏检测装置，其特征在于，旁路阀（V4）有效地将测试入口（10）连接至所述第二泵级（23）的入口且所述旁路阀（V4）在所述阀装置（V2）在其第二状态时被开启。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的渗漏检测装置，其特征在于，所述渗漏检测装置为逆流渗漏检测器，其中所述测试入口（10）连接至高真空泵（12）的中间接头（29）。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的渗漏检测装置，其特征在于，所述预真空泵（20）的两个泵级（22，23）被共用的驱动器（35）同步地驱动，且所述驱动器被控制为设定较高转速用于将所述测试室中包含的气体泵出，且在所述抽空过程被终止后设定较低的转速。

6.根据权利要求5所述的渗漏检测装置，其特征在于，所述各自的转速根据测试入口（10）处的压力（P_E）进行选择。