[发明专利]显微镜有效
申请号: | 201180039278.4 | 申请日: | 2011-08-05 |
公开(公告)号: | CN103080810A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 矢野胜士;藤井宏文;柳泽通雄;德田幸夫 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G02B21/18 | 分类号: | G02B21/18;G02B21/36 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 康建忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显微镜 | ||
1.一种显微镜,包括:
成像单元,包括第一照射单元、成像元件和投影光学系统,所述第一照射单元包括照射第一对象的光源,所述成像元件执行所述第一对象的成像,所述投影光学系统将所述第一对象投影到所述成像元件上;
测量单元,被配置为测量第二对象,以用于设定在所述成像单元处执行第二对象的成像时使用的成像条件;以及
控制器,被配置为同时执行在所述成像单元处的所述第一对象的成像以及在所述测量单元处的所述第二对象的测量。
2.根据权利要求1所述的显微镜,其中所述测量单元包括第二照射单元,所述第二照射单元包括照射所述第二对象的光源。
3.根据权利要求1所述的显微镜,所述显微镜还包括传送器件,所述传送器件用于将所述第二对象从通过所述测量单元执行测量的位置传送至通过所述成像单元执行成像的位置,
其中,与所述第二对象从通过所述测量单元执行测量的位置至通过所述成像单元执行成像的位置的传送同时地,所述控制器使用所述测量单元处的所述第二对象的测量结果设定在所述成像单元处执行所述第二对象的成像时使用的成像条件。
4.根据权利要求1所述的显微镜,其中,所述第二对象包括滑动玻璃、盖玻璃和样本,
其中,所述测量单元执行以下中的一个或多个:所述第二对象的位置、朝向、厚度和波度中的至少一个的测量、透射光或反射光的量的测量、样本的尺寸的测量、以及盖玻璃的厚度的测量,以及
其中,使用所述测量单元处的测量结果,所述控制器设定成像条件,所述成像条件包括以下中的一个或多个:第二对象的位置或朝向、照射光量或波长、成像区域、成像时间、视场遮挡区域和光路校正量。
5.根据权利要求1所述的显微镜,其中,所述成像单元进一步包括由允许部分读出操作的寻址电路控制的互补金属氧化物半导体传感器,
其中,所述成像单元根据所述成像区域选择互补金属氧化物半导体传感器的读出像素的地址。
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