[发明专利]磁阻效应元件以及磁性随机存取存储器有效
申请号: | 201180039960.3 | 申请日: | 2011-09-16 |
公开(公告)号: | CN103069564A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 中山昌彦;与田博明;岸达也;小濑木淳一;甲斐正;相川尚德;池川纯夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L21/8246 | 分类号: | H01L21/8246;G11C11/15;H01L27/105;H01L29/82;H01L43/08 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 杨谦;房永峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁阻 效应 元件 以及 磁性 随机存取存储器 | ||
1.一种磁阻效应元件,其特征在于,具备:
第1铁磁性层,磁化相对于膜面大致垂直且可变;
第2铁磁性层,磁化相对于膜面大致垂直且不变;
第1非磁性层,设于上述第1铁磁性层与上述第2铁磁性层之间;
第3铁磁性层,设于相对于上述第2铁磁性层的与上述第1非磁性层相反一侧,具有与膜面大致平行的磁化,通过注入被自旋极化后的电子来产生旋转磁场;以及
第2非磁性层,设于上述第2铁磁性层与上述第3铁磁性层之间,
使第1电流向沿着从上述第3铁磁性层经由上述第2铁磁性层朝向上述第1铁磁性层的方向以及从上述第1铁磁性层经由上述第2铁磁性层朝向上述第3铁磁性层的方向中的一个方向流动,由此,通过由上述第3铁磁性层产生的上述旋转磁场,上述第1铁磁性层的磁化能够反转,
使具有与上述第1电流不同的电流密度的第2电流向上述一个方向流动,借助于通过上述第2铁磁性层而被自旋极化后的电子,上述第1铁磁性层的磁化能够向与流过上述第1电流的情况不同的方向反转。
2.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第3铁磁性层具有层叠构造,该层叠构造具有磁化方向彼此大致平行于膜面的第1及第2铁磁性膜和设于上述第1及第2铁磁性膜之间的第3非磁性层,上述第1及第2铁磁性膜夹着上述第3非磁性层反铁磁耦合。
3.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
在相对于上述第1铁磁性层的与上述第1非磁性层相反一侧或者相对于上述第3铁磁性层的与上述第2非磁性层相反一侧,隔着第3非磁性层设有第4铁磁性层,该第4铁磁性层具有上述第2铁磁性层的磁化方向的相反方向的磁化。
4.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第1非磁性层为包含Mg、Al、Ti或Hf中的任一元素的氧化物。
5.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第2非磁性层为包含Cu、Au、Ru或Ag中的任一元素的金属。
6.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第1铁磁性层具备包含Fe、Co、Ni中的至少一个元素和Pt、Pd中的至少一个元素的具有L10型结晶构造的磁性体、或者包含Fe、Co、Ni中的至少一个元素和Cr、Ta、Pt、Pd中的至少一个元素的具有六方晶型结晶构造的磁性体中的任一个。
7.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第1铁磁性层具备层叠构造,该层叠构造包含:
包含Fe、Co、Ni中的至少一个元素和Pt、Pd中的至少一个元素的具有L10型结晶构造的磁性体;以及
包含Fe、Co、Ni、Mn中的至少一个元素的合金。
8.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述第1铁磁性层具备层叠构造,该层叠构造包含:
包含Fe、Co、Ni中的至少一个元素和Cr、Ta、Pt、Pd中的至少一个元素的具有六方晶型结晶构造的磁性体;以及
包含Fe、Co、Ni、Mn中的至少一个元素的合金。
9.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述旋转磁场的频率在包含上述第1铁磁性层的谐振频率在内的规定范围内。
10.根据权利要求1所述的磁阻效应元件,其特征在于,
上述旋转磁场为微波磁场。
11.一种磁性随机存取存储器,其特征在于,具备:
权利要求1所述的磁阻效应元件;
第1布线,经由第1电极电连接于上述磁阻效应元件的上述第1铁磁性层;以及
第2布线,经由第2电极电连接于上述磁阻效应元件的上述第3铁磁性层。
12.根据权利要求11所述的磁性随机存取存储器,其特征在于,
还具有设于上述第1电极与上述第1布线之间或上述第2电极与上述第2布线之间的选择晶体管。
13.根据权利要求11所述的磁性随机存取存储器,其特征在于,
还具有设于上述第1电极与上述第1布线之间或上述第2电极与上述第2布线之间的整流元件。
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