[发明专利]位置测量装置

权利要求书

1.一种位置测量装置，具有

-至少一个实物量具，具有光学结构，优选3-D反射镜设置，

-至少一个光接收器，离实物量具一段距离设置，

-一个光源，离实物量具一段距离设置，并离光接收器一段距离设置，和

-至少一个透明基板，存在实物量具和光接收器之间，其中光接收器以由相互叠放设置的几层组成的薄膜结构的形式直接沉积在透明基板上，在基板的相对于实物量具的侧面上，

其特征在于，

-一个具有电路板导体的支撑板，其上设置有基板，其中透明基板和支撑板通过倒装芯片装配牢固地接合在一起，

-实物量具具有两个或更多个具有光学元件的码道，其中第一码道用于产生增量信号，和

-光接收器形成为感应区，在每种情况下由多个光接收器元件组成，其中设置至少一个第一和一个第二感应区，其中第一感应区设计用于与第一码道相互作用用于产生增量信号，其中第二感应区设计用于与作为索引码道或编码码道的第二码道相互作用。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，载体板在两面上均具有电路板导体用于接触光接收器和用于接触解码电路，其中解码电路优选设置在载体板上。

3.根据权利要求2所述的位置测量装置，其特征在于，解码电路在倒装芯片方法中设置在载体板的相对于基板的侧面上，其中解码电路是用于处理光接收器信号的集成电路，其中光接收器电连接到集成电路。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，载体板具有一个凹部，其中容纳光源。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，光接收器接触导电顶层，在导电顶层和载体板的电路板导体之间优选通过球体，即所谓的“凸点”或“柱形凸点”形成导电连接。

6.根据权利要求5所述的位置测量装置，其特征在于，在一方面导电顶层或球体和另一方面载体板之间的连接通过导电粘合剂形成。

7.根据权利要求6所述的位置测量装置，其特征在于，在载体板和基板之间设置永久抗蚀剂，以限制粘合剂的散布。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，透明基板和载体板之间存在的空间的一部分用底部填充料填充，其中底部填充材料优选是基本上不透明的。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，在光源和基板之间的光路中存在空气间隙。

10.根据权利要求6或7所述的位置测量装置，其特征在于，光源，优选LED，固定在薄膜结构的最上层，其中，间隔件设置在光源和薄膜结构的最上层之间，其形成用于粘合剂的限定间隙。

11.根据权利要求1～3或5～8中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，光源，优选OLED，直接形成在基板上光接收器之间。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的位置测量装置，其特征在于，载体板由陶瓷组成。