[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物

权利要求书

1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，其为含有(I)在四甲基氢氧化铵水溶液中溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷、(II)重氮基萘醌衍生物以及(III)溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，

所述聚硅氧烷(I)是聚硅氧烷(Ia)和聚硅氧烷(Ib)的混合物，

所述聚硅氧烷(Ia)是通过将通式(1)所示的硅烷化合物和通式(2)所示的硅烷化合物在碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得的，其预烘烤后的膜可溶于5重量%四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为/秒以下，

聚硅氧烷(Ib)是通过将至少通式(1)所示的硅烷化合物在酸性或者碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得的，其预烘烤后的膜在2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒以上，

通式(1)：RSi(OR¹)₃，

通式(2)：Si(OR¹)₄，

式中，R表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或者环状烷基，或者碳原子数6～20且任意的氢可被氟取代的芳基，R¹表示碳原子数1～5的烷基。

2.根据权利要求1所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，在所述聚硅氧烷(Ib)中进一步使用上述通式(2)的硅烷化合物。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷(I)在2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，所述聚硅氧烷(Ib)的预烘烤后的膜在2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒以上，所述聚硅氧烷(I)在2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，在聚硅氧烷(I)中包含1～80重量%的所述聚硅氧烷(Ia)。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，聚硅氧烷(Ib)通过在碱性催化剂的存在下将所述硅烷化合物水解、缩合而获得。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，聚硅氧烷(Ia)包含1摩尔%～40摩尔%的通式(2)的硅烷化合物。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，聚硅氧烷(Ib)包含1摩尔%～40摩尔%的通式(2)的硅烷化合物。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，在通式(1)的硅烷化合物之中，R由甲基表示的硅烷化合物为20摩尔%～80摩尔%。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，其含有可通过热或者辐射线而产生酸或者碱的固化助剂。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，其含有冠醚。

12.一种固化膜，其特征在于，其由权利要求1～11中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物形成。

13.一种元件，其特征在于，其具有权利要求12所述的固化膜。

14.根据权利要求13所述的元件，其特征在于，所述固化膜的相对介电常数为4以下。