[发明专利]具有软电离辉光放电和调节器的质谱仪有效

专利信息
申请号: 201180040098.8 申请日: 2011-08-19
公开(公告)号: CN103069538A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: A·N·韦列奇科夫;A·扎米亚京 申请(专利权)人: 莱克公司
主分类号: H01J49/14 分类号: H01J49/14;H01J49/10;H01J49/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 林振波
地址: 美国密*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 电离 辉光 放电 调节器 质谱仪
【权利要求书】:

1.一种用于质谱仪的离子源(12,102),其包括:

电离器(18,106),其被设计成从电离器气体源(16)接收电离器气体;

调节器(20),其与至少一个电离器(18,106)连通;以及

反应器(22,110),其与调节器(20)连通,并且被设计成与质谱仪连通,反应器(22,110)被设计成从样品源(24)接收样品,其中调节器(20)的尺寸被设置成去除辉光放电电离器(18,106)与反应器(22,110)之间的电离器气体的气流中的快速扩散的电子。

2.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中调节器(20)的尺寸被设置成使气流从所述至少一个电离器(18,106)到反应器(22,110)的转移时间在约5ms至约10ms之间。

3.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中调节器(20)包括长度为约15mm、内径为约2mm的管道。

4.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中调节器(20)包括管道,调节器(20)的内径与所述至少一个电离器(18,106)的压力的乘积至少为50mm*mbar。

5.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中所述至少一个电离器(18,106)包括辉光放电电离器,该辉光放电电离器具有电离器腔室(28),所述腔室容纳通电的电极(42),以用于提供所供应的电离器气体的离子。

6.如权利要求5所述的离子源(12,102),其中辉光放电电离器(18,106)的电离器腔室(28)的气压至少为约30mbar。

7.如权利要求6所述的离子源(12,102),其中辉光放电电离器(18,106)的电离器腔室(28)的气压保持在约30mbar至约300mbar之间。

8.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中调节器(20)与向调节器(20)供应掺杂剂的掺杂剂供应源(52)连通。

9.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中反应器(22,110)和样品供应源(24)中的至少一个与载体气体供应源连通,载体气体供应源提供用于将样品从样品供应源(24)移向反应器(22,110)的载体气体。

10.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中反应器(22,110)包括加热器(113),以用于将反应器(22,110)加热到至少150℃。

11.如权利要求1所述的离子源(12,102),其还包括气动地连接反应器(22,110)和质谱仪的采样通道(65,118)。

12.如权利要求11所述的离子源(12,102),其中反应器(22,110)和采样通道(65,118)的尺寸被设置成使在反应器(22,110)中的停留时间为约5ms至约100ms。

13.如权利要求11所述的离子源(12,102),其中反应器(22,110)限定约200mm3的容积。

14.如权利要求11所述的离子源(12,102),其中采样通道(65,118)包括内径为约0.5mm的管道。

15.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中反应器(22,110)基本无电场,以避免对残余的自由电子形成加速。

16.如权利要求1所述的离子源(12,102),其中所述至少一个电离器(18,106)包括与反应器(22,110)连通的第一和第二电离器(18,72,106,108),第一电离器(18,106)从第一电离器气体源(16)接收第一电离器气体,第二电离器(72,108)从第二电离器气体源(73)接收第二电离器气体,第一和第二调节器将相应的第一和第二电离器(18,72,106,108)连接至反应器(22,110)。

17.如权利要求16所述的离子源(12,102),其中第一电离器(18,106)包括辉光放电电离器,第二电离器(72,108)包括具有密封紫外线灯的光致电离器。

18.如权利要求1所述的离子源(12,102),其还包括源壳体(104),所述源壳体包封所述至少一个电离器(18,106)、调节器(20)和反应器(22,110)。

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