[发明专利]具有软电离辉光放电和调节器的质谱仪

权利要求书

1.一种用于质谱仪的离子源（12，102），其包括：

电离器（18，106），其被设计成从电离器气体源（16）接收电离器气体；

调节器（20），其与至少一个电离器（18，106）连通；以及

反应器（22，110），其与调节器（20）连通，并且被设计成与质谱仪连通，反应器（22，110）被设计成从样品源（24）接收样品，其中调节器（20）的尺寸被设置成去除辉光放电电离器（18，106）与反应器（22，110）之间的电离器气体的气流中的快速扩散的电子。

2.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中调节器（20）的尺寸被设置成使气流从所述至少一个电离器（18，106）到反应器（22，110）的转移时间在约5ms至约10ms之间。

3.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中调节器（20）包括长度为约15mm、内径为约2mm的管道。

4.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中调节器（20）包括管道，调节器（20）的内径与所述至少一个电离器（18，106）的压力的乘积至少为50mm*mbar。

5.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中所述至少一个电离器（18，106）包括辉光放电电离器，该辉光放电电离器具有电离器腔室（28），所述腔室容纳通电的电极（42），以用于提供所供应的电离器气体的离子。

6.如权利要求5所述的离子源（12，102），其中辉光放电电离器（18，106）的电离器腔室（28）的气压至少为约30mbar。

7.如权利要求6所述的离子源（12，102），其中辉光放电电离器（18，106）的电离器腔室（28）的气压保持在约30mbar至约300mbar之间。

8.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中调节器（20）与向调节器（20）供应掺杂剂的掺杂剂供应源（52）连通。

9.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中反应器（22，110）和样品供应源（24）中的至少一个与载体气体供应源连通，载体气体供应源提供用于将样品从样品供应源（24）移向反应器（22，110）的载体气体。

10.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中反应器（22，110）包括加热器（113），以用于将反应器（22，110）加热到至少150℃。

11.如权利要求1所述的离子源（12，102），其还包括气动地连接反应器（22，110）和质谱仪的采样通道（65，118）。

12.如权利要求11所述的离子源（12，102），其中反应器（22，110）和采样通道（65，118）的尺寸被设置成使在反应器（22，110）中的停留时间为约5ms至约100ms。

13.如权利要求11所述的离子源（12，102），其中反应器（22，110）限定约200mm³的容积。

14.如权利要求11所述的离子源（12，102），其中采样通道（65，118）包括内径为约0.5mm的管道。

15.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中反应器（22，110）基本无电场，以避免对残余的自由电子形成加速。

16.如权利要求1所述的离子源（12，102），其中所述至少一个电离器（18，106）包括与反应器（22，110）连通的第一和第二电离器（18，72，106，108），第一电离器（18，106）从第一电离器气体源（16）接收第一电离器气体，第二电离器（72，108）从第二电离器气体源（73）接收第二电离器气体，第一和第二调节器将相应的第一和第二电离器（18，72，106，108）连接至反应器（22，110）。

17.如权利要求16所述的离子源（12，102），其中第一电离器（18，106）包括辉光放电电离器，第二电离器（72，108）包括具有密封紫外线灯的光致电离器。

18.如权利要求1所述的离子源（12，102），其还包括源壳体（104），所述源壳体包封所述至少一个电离器（18，106）、调节器（20）和反应器（22，110）。