[发明专利]振动发电元件以及具备该元件的振动发电装置

权利要求书

1.一种振动发电元件，其特征为，

具备：

基底基板，具备支撑部、以及能够自由摆动地被该支撑部支撑的悬臂部；以及

发电部，形成于上述悬臂部，并构成为根据上述悬臂部的振动而产生交流电，

上述发电部具备：

下部电极，与上述悬臂部重叠地形成在上述基底基板的一个表面侧；

第1压电层，形成在从上述悬臂部观察时的该下部电极的相反侧；

中间电极，形成在从上述下部电极观察时的该第1压电层的相反侧；

第2压电层，形成在从上述第1压电层观察时的该中间电极的相反侧；以及

上部电极，形成在从上述中间电极观察时的该第2压电层的相反侧。

2.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为，

上述第1压电层以及上述第2压电层，分别是强介电体薄膜。

3.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为，

上述第1压电层中的极化方向与上述第2压电层中的极化方向，在上述发电部的厚度方向上为同一方向。

4.如权利要求2所述的振动发电元件，其特征为，

上述第1压电层中的极化方向与上述第2压电层中的极化方向，在上述发电部的厚度方向上为同一方向。

5.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为，

该悬臂部具有第1端及第2端，并且被支撑为该第2端侧在该第1端侧通过该支撑部而能够自由摆动，

该发电部配置于该基底基板的该悬臂部的至少第1端侧。

6.如权利要求5所述的振动发电元件，其特征为，

该基底基板具备：

框部，具有第1及第2边比其它两边短的四个边，并且包含该支撑部作为该第1边；以及

开口，在该框部与该悬臂部之间形成。

7.如权利要求6所述的振动发电元件，其特征为，

该支撑部在该基底基板的上述表面侧对该悬臂部进行支撑，以便使该悬臂部的一个表面与该框部的一个表面成为同一面而共同形成该基底基板的上述表面，

该开口是U形狭缝。

8.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为，

该第1及第2压电层分别与该中间电极的两表面直接接合。

9.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为，

该中间电极仅由1个或者多个导电层构成。

10.一种振动发电装置，其特征为，

具备：

权利要求1至权利要求9的任意一项所述的振动发电元件，以及

二相全波整流器，具备：与该上部及下部电极分别电连接的第1及第2输入端子；以及与作为共用电极的上述中间电极电连接的共用端子，并且构成为将从上述上部电极及上述下部电极所输出的二相交流电转换成直流电。