[发明专利]电介质阻挡放电灯装置

说明书

技术领域

本发明涉及电介质阻挡放电灯装置。

背景技术

电介质阻挡放电灯装置具备多个电介质阻挡放电灯，为了光清洗例如使用半导体晶片、或液晶显示装置中用到的玻璃基板等。作为以往的电介质阻挡放电灯，例如公知：将在内周面设置了电极的玻璃管作为内管、且将在外周面设置了电极的玻璃管作为外管的双管构造(参照专利文献1)；和在角筒状的玻璃管的大致半周面具备网格状电极、且在相反侧的半周面具备满电极的单管构造(参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2003-257375号公报

专利文献2：日本特开2005-322632号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

上述专利文献1以及2所记载的任何电介质阻挡放电灯都是在内部封入了放电气体的玻璃管中使一对电极一体化而成的构造。这些灯是按如下方式制造的，即：在玻璃管内填充了放电气体的状态下熔敷玻璃管的端部来进行密封，进而在该玻璃管的表面例如通过蒸渡或溅射来附着一对电极，在这一对电极之上钎焊从连接器向各电极导出的导线。这样，不仅经过玻璃管的气体密封工序还需要经过电极形成工序以及导线安装工序，因此以往的电介质阻挡放电灯不得不变得非常昂贵。

此外，在电介质阻挡放电灯装置中组合灯之际，不仅针对每个灯而需要与电源装置连接的布线构造，当然针对每个灯也需要固定于装置框体的安装构造，所以作为灯装置而趋向于成为复杂的构造。

本发明是基于上述这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够使电介质阻挡放电灯自身的构造简化，并且作为灯装置也能简化构造的电介质阻挡放电灯装置。

(用于解决课题的技术方案)

作为解决上述课题的技术方案，本发明提供一种电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，具备：灯罩，其具有光照射开口；网格状电极，其被设置于该灯罩的所述光照射开口、且由多孔状的导电体构成；放电容器，其是在透光性的容器中封入放电气体而形成的；放电容器保持部件，其在与所述网格状电极之间夹持该放电容器、且与所述放电容器独立形成；电极部件，其被配置在夹着所述放电容器而与所述网格状电极对置的位置；和电源装置，其在所述网格状电极与所述电极部件之间施加放电用的电压，所述放电容器被所述网格状电极支撑。

在本发明中，因为电介质阻挡放电灯是通过用网格状电极、电极部件、和放电容器保持部件来夹持在透光性的容器中封入放电气体而形成的放电容器所获得到的，所以不需要如制造以往的灯时那样在放电容器通过蒸镀等的方法形成电极的工序。

在本发明中，因为是放电容器仅被网格状电极支撑的构成，所以在照射光的路径上除了网格状电极以外无需设置用于支撑放电容器的元件。因此，根据本发明，较之除了网格状电极以外还设置了用于支撑放电容器的元件的情况，能够提高光的透过率。进而，在除了网格状电极以外还设置了用于支撑放电容器的元件的情况下，当进行放电的光中包含紫外线时，可能会产生该元件因紫外线而劣化的问题，但是根据本发明，因为这种元件被省略了，所以能够提高灯的耐久性。

而且，在将灯组合到本发明的电介质阻挡放电灯装置中之际，在用网格状电极、电极部件、和放电容器保持部件夹持了规定个数的放电容器之后，只要将网格状电极以及电极部件分别与电源装置连接即可。也就是说，在本发明中，在将灯组合到电介质阻挡放电灯装置中之际，因为针对每个灯也不需要与电源装置连接的布线构造、固定于灯罩的安装构造，所以作为灯装置也能够简化构造。

本发明也可以是以下的构成。

所述网格状电极也可以为板材。通过采用这种构成，则加工变得容易。

也可在所述灯罩中，和所述网格状电极的与所述放电容器相反侧的面相接且支撑所述网格状电极的支撑部件被设置于从所述放电容器偏离的位置。

如果放电容器和电极(网格状电极以及电极部件)的非接触区域变多，则在向电极施加电压时在电极与放电容器之间容易产生微小的放电(微型溅射)，通过该放电可能导致放电容器、电极劣化，从而导致光透过率降低等、寿命变短。然而，通过采用上述这种构成，则因为网格状电极被设置于从放电容器偏离的位置处的支撑部件支撑，所以来自放电容器的光的照射不会被遮挡，可以使网格状电极以及电极部件与放电容器的接触状态变得良好(密接化)。其结果，能够防止放电容器、电极的劣化，且能够抑制光透过率降低。