[发明专利]隔膜式散气装置

权利要求书

1.一种隔膜式散气装置，其特征在于，具有本体和供气口；所述本体通过将由片状部件或板状部件构成的下部构成件与由片状部件构成的上部构成件在双方的周缘部相互接合而成；所述供气口贯通上部构成件地在外侧面与上部构成件水密接合，并且，在与下部构成件相向的内侧开口的开口缘能与下部构成件水密抵接，且能与下部构成件分离。

2.根据权利要求1所述的隔膜式散气装置，其特征在于，在下部构成件中与供气口抵接的部位和在供气口的开口缘与下部构成件抵接的部位之中的至少一方是软性材料。

3.根据权利要求1所述的隔膜式散气装置，其特征在于，本体是下部构成件以及上部构成件由片状部件构成的袋状体。

4.根据权利要求1所述的隔膜式散气装置，其特征在于，供气口的与下部构成件抵接的开口缘围绕供气口的轴心设有多重。

5.根据权利要求1所述的隔膜式散气装置，其特征在于，上部构成件在供气口的周围是不透气性的。

6.根据权利要求1所述的隔膜式散气装置，其特征在于，设置有凸缘部，该凸缘部形成有沿着内侧开口的开口缘的周围能与下部构成件抵接或分离的凸缘面。

7.一种反应槽，其特征在于，具备储存对象处理液的槽体和配置在槽体内的散气装置，散气装置由根据权利要求1至6中任意一项所述的隔膜式散气装置构成。