[发明专利]板状玻璃的搬运装置和具备该搬运装置的倒角装置

说明书

技术领域

本发明涉及将使用于液晶显示器用玻璃基板和等离子显示器等的板状玻璃以水平状态搬运的搬运装置。

背景技术

以往，使用于液晶显示器等的板状玻璃（在该说明书及权利要求书中的“板状玻璃”是指使用于液晶面板、等离子面板、有机电致发光（Electroluminescence，EL）面板等的平板显示器（Flat Panel Display；FPD）的板状玻璃等）是由多张能够得到规定尺寸的板状玻璃的大小的板状玻璃（母玻璃）制作的。

对于像这样的板状玻璃，为了从加工工序中产生的碎玻璃和加工之后产生的颗粒等中保护表面，而一般采用在玻璃表面贴上保护片的方法。作为像这样的板状玻璃的厚度，例如制造出约0.7mm左右的厚度。

而且，将这样的板状玻璃以横向的水平状态搬运，并且在多个加工工序中切断为规定尺寸后，实施其切断端缘的磨削·研磨等的倒角加工，以此制作出保持规定的强度的板状玻璃制品。

作为搬运这种板状玻璃的现有技术，具有将端面加工机中的板材用下部环形带和上部环形带夹持，并且将上部环形带的下侧移动部下表面压接在下部环形带的上侧移动部上表面上，而使上部环形带和下部环形带以相同速度移动的技术（例如参照专利文献1）。

又，作为其他现有技术，也有通过环形输送带夹持板状玻璃并输送的技术（例如参照专利文献2）、和在上下两对的环形旋转链条的上下相对面上设置板状玻璃夹持构件，而通过这些板状玻璃夹持构件夹持板状玻璃并输送的技术（例如参照专利文献3）等。

现有技术文献：

专利文献1：日本特开平6-126583号公报；

专利文献2：日本特开昭53-71396号公报；

专利文献3：日本特开昭55-129753号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，使用于如上述的平板显示器等中的板状玻璃在表面不能存在瑕疵和污点等而洁净的方面要求高的质量。又，关于板状玻璃的翘曲、波纹等的表面精度，也在无翘曲和波纹等而达到水平（平坦）程度的方面要求高的质量。

尤其是，这种板状玻璃的图案面（在本说明书及权利要求书中，是指形成半导体等的各种薄膜层的面）在例如使用TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶体管）的液晶显示器的情况下，由于在薄板的无碱玻璃基板上形成无定形硅、绝缘体、半导体等的各种薄膜层而实施图案加工，并且形成TFT和液晶驱动用的显示电极、配线等，因此与另一侧的背面（在本说明书及权利要求书中是指图案面的反面）相比要求非常高的清洁度等。

但是，在上述的专利文献1～3中，用传送带夹住板状玻璃的下表面和上表面并运送，因此如果在板状玻璃的图案面和传送带之间夹入粉尘等时，即使如上所述在玻璃表面贴上保护片，也因其夹入的粉尘而划伤图案面。

尤其是，在运送板状玻璃的同时磨削端缘的工序中，夹入其磨削粉等，而由此划伤图案面的可能性较高。当该图案面被划伤时，该板状玻璃不得不进行废弃处理，从而导致成品率的恶化而降低生产率。

解决问题的手段：

因此，本发明的目的是提供不划伤板状玻璃的图案面而能够稳定地运送的板状玻璃的搬运装置。

为了达到上述目的，根据本发明的板状玻璃的搬运装置是以水平状态运送板状玻璃的搬运装置，所述搬运装置具备运送机构，所述运送机构具有：支持所述板状玻璃的图案面的反面并向搬运方向运送该板状玻璃的传送带部；和配置在与该传送带部相对的位置上，使规定的流体压力作用于所述板状玻璃的图案面的流体引导器；该运送机构形成为利用所述流体引导器的流体压力将所述板状玻璃按压在所述传送带部上，从而以与该板状玻璃的图案面非接触的状态在与所述传送带部之间夹持该板状玻璃的结构。在该说明书及权利要求书中的“流体”是指包含“纯水”等的保持板状玻璃表面的高清洁度的液体和空气等的流体。通过该结构，在板状玻璃的图案面上不接触传送带等，而能够以由传送带部和流体引导器夹持的状态搬运该板状玻璃。因此，能够在不划伤板状玻璃的图案面而保持表面的高质量的情况下稳定地搬运。

又，也可以在所述板状玻璃的宽度方向中央部配置所述运送机构，并且在所述板状玻璃的两端部配设与该板状玻璃表面之间形成流体层而以非接触状态支持的流体引导器。本说明书及权利要求书中的“板状玻璃的宽度方向”是指与以水平状态运送的板状玻璃的搬运方向正交的方向。根据该结构，通过将运送机构仅设置于板状玻璃的宽度方向中央部，也可以进一步谋求搬运装置的成本降低。