[发明专利]液滴沉积装置及用于制造该装置的方法

权利要求书

1.一种形成用于液滴沉积装置的部件的方法，所述部件包括流体室的阵列，所述方法包括以下步骤：

提供保护材料，以至少部分地填充所述室；

将至少一个辐射束指向所述部件，以便通过使所述部件消融而形成孔的阵列，每个孔延伸穿过所述部件的一部分以便与相应的室连通，以能够使使用中的流体以待被沉积的液滴的形式穿过所述孔从所述室中释放；

其中所述保护材料起到阻止在所述消融期间对所述室的壁的损坏的作用；及

除去所述保护材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述保护材料通过吸收来自所述辐射的能量而至少部分地阻止损坏。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述能量吸收涉及所述保护材料的相变。

4.根据任一项前述权利要求所述的方法，其中紧接在将至少一个辐射束指向所述部件的所述步骤之前，所述保护材料处于不可压缩状态。

5.根据权利要求4所述的方法，其中紧接在将至少一个辐射束指向所述部件的所述步骤之前，所述保护材料是固体。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述保护材料被提供为液体且然后固化。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的方法，其中所述方法还包括：在将至少一个辐射束指向所述部件的所述步骤之前，从所述流体室中排空基本上所有气体材料并对所述流体室应用不漏流体的密封。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中在所述喷嘴的消融期间提供穿过所述室的所述保护材料的连续流动。

9.根据任一项前述权利要求所述的方法，其中对于形成连通孔的每个室来说，该孔延伸穿过所述室的一个壁，且其中所述保护材料填充所述室以便邻接所述壁而基本上不留出邻近所述壁的空间。

10.根据任一项前述权利要求所述的方法，还包括提供界定所述流体室的板，以形成所述流体室的所述壁的至少一部分。

11.根据权利要求10所述的方法，其中在提供保护材料的所述步骤之后提供所述板。

12.根据当从属于权利要求8时的权利要求10所述的方法，其中在提供保护材料的所述步骤之前提供所述板。

13.根据权利要求10和权利要求12中任一项所述的方法，还包括以下步骤：提供具有其中形成有多个凹陷的表面的致动构件；及将所述板附接到所述表面，以至少部分地封装所述凹陷内的空间，所述空间至少部分地提供所述流体室。

14.根据当从属于权利要求11时的权利要求13所述的方法，其中所述保护材料被应用于所述表面以至少部分地填充所述凹陷。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述保护材料基本上覆盖所述表面，完全填充所述凹陷。

16.根据权利要求10或权利要求13至15中任一项所述的方法，还包括机械地除去所述保护材料的一部分，以呈现出用于附接所述板的水平表面。

17.根据当从属于权利要求13至15中任一项时的权利要求16所述的方法，其中来自所述致动构件的材料也在机械地除去所述保护材料的所述步骤期间被除去，从而所述致动构件和所述保护材料一起提供用于附接所述板的平面表面。

18.根据权利要求13至17中任一项所述的方法，其中所述凹陷被形成为多个平行的细长通道。

19.根据权利要求18所述的方法，其中所述致动构件包括压电材料。

20.根据权利要求19所述的方法，其中所述通道通过包含压电材料的细长的壁而被分隔。

21.根据权利要求10至20中任一项所述的方法，其中所述孔延伸通过所述板。

22.根据任一项前述权利要求所述的方法，还包括在提供所述保护材料之前将涂覆材料通入所述室中的步骤，所述涂覆材料的至少一部分被沉积为涂覆层，以形成所述流体室的所述壁的至少一部分。

23.根据权利要求22所述的方法，其中在所述部件的使用期间，所述涂覆层中的至少一部分涂覆层保留以保护所述室免受容纳在其中的流体的影响。