[发明专利]产生一氧化氮的方法有效
| 申请号： | 201180045878.1 | 申请日： | 2011-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103140438A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | A·G·R·克贝尔;R·希尔比希 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/24 | 分类号： | C01B21/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 苗征;于辉 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生 一氧化氮 方法 | ||
【权利要求书】：
1.产生一氧化氮的方法，其包括以下步骤：
将工艺气体引入反应室(12)中，其中
所述工艺气体包含在载气中的一氧化二氮，一氧化二氮的浓度在≤2体积%的范围内，并
将所述工艺气体加热至足够高的温度以使一氧化二氮反应形成一氧化氮，从而
形成至少部分包含一氧化氮的气体。
2.权利要求1的方法，其中将所述工艺气体加热至≥1000K至≤1500K范围内的温度。
3.权利要求1的方法，其中使用惰性气体作为所述载气。
4.权利要求1的方法，其中所述工艺气体中的含水量在≤1体积%的范围内。
5.权利要求1的方法，其中所述反应室(12)中的所有表面是惰性的。
6.权利要求1的方法，其中在反应期间，反应室(12)中的压力在≥0.1巴至≤20巴的范围内。
7.权利要求1的方法，其中所述工艺气体的反应时间在≥10ms至≤100s的范围内。
8.权利要求1的方法，其中使用的所述工艺气体的SATP流速为≥0.01LSATP/min至≤10LSATP/min。
9.权利要求1的方法，其中在所述反应室(12)的下游冷却所形成的含一氧化氮的气体。
10.权利要求9的方法，其中将所述含一氧化氮的气体在≤10s的时间范围内冷却至室温。
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