[发明专利]多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于此摄像的影像来检查多孔板表面的多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置。

背景技术

近年来，各种在板材表面照射照明光，对在表面反射的反射光进行摄像，基于此摄像的影像检查板材表面的技术被提出来(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1中，作为检查萌罩板缺陷的方法，公开了以下方法：在向萌罩板的一个主面照射透过用的照明光的同时，向萌罩板的另一主面照射反射用的照明光，并且在萌罩板的另一主面侧，以接收透过萌罩板的透过光和在萌罩板的另一主面反射的反射光的的方式对萌罩板进行摄像，从而不受萌罩板附着的异物的影响，正确地检查萌罩板的缺陷。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平6-341958号公报

发明概要

发明要解决的课题

但是在现有的照射透过光和反射光以对多孔板的表面进行摄像来检查多孔板的缺陷的方法中，例如，在透过多孔板的透孔部的透过光的光量比在多孔板的表面反射的反射光的光量暗时，且在反射光和透过光之间的光量的差别很大时，有把透孔部误判为异物的危险。所以，正确检查多孔板表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等是困难的。

本发明是鉴于上述课题而研发的，其目的是为了提供一种能够正确检查出多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置。

发明解决课题的手段

本发明的解决所述课题的多孔板表面检查方法，其特征在于，是一种对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于该摄像的影像，检查多孔板表面的多孔板表面检查方法，所述多孔板表面检查方法包含：

对于多孔板从该多孔板的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板的背面侧照射背光用的照明光的步骤；从多孔板的表面侧对多孔板的表面进行摄像的步骤；基于该摄像的影像测定多孔板的表面反射的反射光的光量和透过多孔板的孔部的透过光的光量的步骤；为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量的步骤；在光量已调节的状态，对多孔板的表面进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板的缺陷的步骤。

通过本发明，因为为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，而调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能够使得进行这样光量调节后摄像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的浓度差变小。

因此在检查多孔板缺陷的工程中，能够防止把多孔板的透孔部误认为异物，可以正确地判断多孔板的表面有无缺陷。因此在多孔板的表面有污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等情况下能够正确地检出这些。

较为理想的是，在检查多孔板的缺陷的步骤中，将在调节光量之后摄像的影像划分为多个影像范围，从多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影像范围和作为比较对象的其它多个影像范围的比较对象影像范围，测定检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量，在检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量的差分在事先设定的阈值以上的情况下，判断在检查对象影像范围对应的部分存在缺陷。

较为理想的是，在多孔板具有将多个透孔部配设在列方向，且将配设在该列方向的多个透孔部的列在宽度方向配设多个的构成的情况下，在检查多孔板的缺陷的步骤中，将大于一个透孔部大的，且列方向的尺寸具有从该透孔部到和位于列方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度、宽度方向的尺寸具有从透孔部到和位于宽度方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度的，范围设定为检查对象影像范围，并且在相对检查对象影像范围在列方向偏移的位置将具有和检查对象影像范围相同尺寸的范围设定为比较对象影像范围。

另外，较为理想的是，在检查多孔板的缺陷的步骤中，在对于检查对象影像范围在各列方向上偏离的位置，设定多个比较对象影像范围。