[发明专利]弹性波元件及使用该弹性波元件的弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波元件，具备：

压电基板；

电极，其以Al为主要成分，且位于该压电基板的上表面；

第一膜，其位于该电极的上表面；和

绝缘层，其以氧化硅为主要成分，覆盖该第一膜和所述压电基板中从所述电极露出的部分，且距离所述压电基板的上表面的厚度比所述电极及所述第一膜的合计的厚度大，

所述第一膜以声阻抗比所述电极的材料及所述绝缘层的材料大且弹性波的传播速度比所述电极的材料及所述绝缘层的材料慢的材料为主要成分。

2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述第一膜以Ta₂O₅、TaSi₂及W₅Si₂中的任一种为主要成分。

3.根据权利要求2所述的弹性波元件，其中，

所述压电基板是128°±10°Y-X切割的LiNbO₃基板。

4.根据权利要求3所述的弹性波元件，其中，

所述第一膜以Ta₂O₅为主要成分，该第一膜的归一化厚度t/λ处在下述的式(1)的范围内，

0.5706(T/λ)²-0.3867T/λ+0.0913≤t/λ≤T/λ-0.1...式(1)

在此，T/λ是绝缘层的归一化厚度，t是第一膜的厚度，T是绝缘层的厚度，λ是弹性波的波长。

5.根据权利要求3所述的弹性波元件，其中，

所述第一膜以TaSi₂为主要成分，该第一膜的归一化厚度t/λ处在下述的式(2)的范围内，

0.3995(T/λ)²-0.2675T/λ+0.0657≤t/λ≤T/λ-0.1...式(2)

在此，T/λ是绝缘层的归一化厚度，t是第一膜的厚度，T是绝缘层的厚度，λ是弹性波的波长。

6.根据权利要求3所述的弹性波元件，其中，

所述第一膜以W₅Si₂为主要成分，该第一膜的归一化厚度t/λ处在下述的式(3)的范围内，

0.2978(T/λ)²-0.1966T/λ+0.0433≤t/λ≤T/λ-0.1...式(3)

在此，T/λ是绝缘层的归一化厚度，t是第一膜的厚度，T是绝缘层的厚度，λ是弹性波的波长。

7.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，

所述弹性波元件具有根据所述第一膜的归一化厚度t/λ而发生变化的反共振频率，

在所述第一膜的归一化厚度t/λ中，根据该归一化厚度t/λ而发生变化的阻带的上端的频率比所述反共振频率高。

8.根据权利要求1或7所述的弹性波元件，其中，

所述第一膜以绝缘材料为主要成分。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波元件，其中，

所述电极具备：

第一母线及第二母线，它们在与弹性波的传播方向交叉的方向上相互对置；

多个第一电极指，它们从所述第一母线向所述第二母线侧延伸；

多个第二电极指，它们从所述第二母线向所述第一母线侧延伸，且与所述多个第一电极指相互交叉；

多个第一虚拟电极，它们从所述第一母线向所述第二母线侧延伸，且前端隔着第一前端间隙部而与所述多个第二电极指的前端对置；和

多个第二虚拟电极，它们从所述第二母线向所述第一母线侧延伸，且前端隔着第二前端间隙部而与所述多个第一电极指的前端对置，

所述弹性波元件还具有第二膜，该第二膜位于所述压电基板的上表面上的多个所述第一前端间隙部及多个所述第二前端间隙部，以声阻抗比所述电极的材料及所述绝缘层的材料大且弹性波的传播速度比所述电极的材料及所述绝缘层的材料慢的绝缘材料为主要成分。