[发明专利]铈系研磨材料

说明书

技术领域

本发明涉及以氧化铈为主成分的铈系研磨材料，特别涉及含有F的以稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料。

背景技术

铈系研磨材料例如可以通过将富含以铈为代表的稀土类元素的氟碳铈精矿等原料粉碎、焙烧，然后根据需要进行分级来制造。制得的铈系研磨材料是以氧化铈（CeO₂等）为主成分的研磨材料，除此以外还含有氧化镧（La₂O₃等）等除铈以外的稀土类元素的氧化物。此外，可获得更高的研磨速度的研磨材料有含氟（F）的铈系研磨材料（参见专利文献1）。

专利文献1中的含氟的铈系研磨材料含有氟（F）、和作为稀土类元素的铈（Ce）、镧（La）、镨（Pr）、钕（Nd），据记载较好是F为0.5～10重量%、氧化钕的重量占总稀土类氧化物换算重量（以下记为TREO）的比例（Nd₂O₃/TREO）为0.001重量%～5重量%、及氧化镧的重量占TREO的比例（La₂O₃/TREO）为2重量%～45重量%、或者氧化镨的重量占TREO的比例（Pr₆O₁₁/TREO）为0.1重量%～10重量%，且氧化铈的重量占TREO的比例（CeO₂/TREO）为50重量%～90重量%。提出了铈、镧、镨及钕的稀土类氧化物的总重量占TREO的比例为97重量%以上的技术方案。

此外，作为研磨速度快、研磨损伤少的铈系研磨材料，还已知着眼于稀土类氧化物的由使用Cu-Kα射线或Cu-Kα1射线的X射线衍射得到的峰的铈系研磨材料（参见专利文献2）。该专利文献2中，提出了以稀土类元素Ce为主成分的稀土类氧化物的由使用Cu-Kα射线或Cu-Kα1射线的X射线衍射得到的峰中基于（111）面的峰a的半宽度以2θ计为0.10～1.00°的铈系研磨材料。

这些现有技术中的铈系研磨材料的研磨速度较快，研磨损伤的发生也得到一定程度的抑制。但是，最近要求可以实现精度更高的研磨面、即研磨损伤的发生得到极大降低的研磨面的铈系研磨材料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利再表2004-092297号公报

专利文献2日本专利特开2007-106890号公报

发明内容

本发明鉴于如上所述的问题，提供不仅研磨速度快，而且还可实现研磨损伤的产生得到极大降低的研磨面的铈系研磨材料。

本发明的发明者们就铈系研磨材料的研磨速度及研磨损伤的发生，研究了Ce（铈）以外的稀土类元素的影响，结果发现通过控制Ce以外的稀土类元素的氧化物比例，不仅研磨速度变快，而且能够极大地抑制研磨损伤的发生，从而最终完成了本发明。

本发明为含有F（氟），且以含有作为稀土类元素的Ce（铈）和选自14种Ce以外的稀土类元素Y（钇）、La（镧）、Pr（镨）、Nd（钕）、Sm（钐）、Eu（铕）、Gd（钆）、Tb（铽）、Dy（镝）、Ho（钬）、Er（铒）、Tm（铥）、Yb（镱）、Lu（镥）的一种稀土类元素（称为RE^*）的稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料，该铈系研磨材料中的F含量为5.0～15.0质量%，氧化铈（CeO₂）的质量占总稀土类氧化物换算质量（TREO）的比例（CeO₂/TREO）为48质量%～90质量%、铈以外的一种稀土类元素的氧化物（RE^*O）的质量占总稀土类氧化物换算质量（TREO）的比例（RE^*O/TREO）为8质量%～50质量%、氧化铈和铈以外的一种稀土类元素的氧化物（RE^*O）的合计质量占总稀土类氧化物换算质量（TREO）的比例（（CeO₂+RE^*O）/TREO）为98质量%以上，选自从Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu这14种除去稀土类元素RE^*后的13种中的稀土类元素（称为ORE）满足上述13种ORE的各氧化物（各OREO）的质量占总稀土类氧化物换算质量（TREO）的比例（（各OREO）/TREO）为0.5质量%以下。