[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置

权利要求书

1.一种蒸镀方法，其特征在于：

所述蒸镀方法是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法，

该蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着于所述基板上而形成所述覆膜的蒸镀工序，

所述蒸镀工序为如下工序：使用包括具备放出所述蒸镀颗粒的蒸镀源开口的蒸镀源和配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间的蒸镀掩模的蒸镀单元，在使所述基板和所述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，一边使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对移动，一边使通过在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的所述蒸镀颗粒附着于所述基板，

设与所述基板的法线方向正交并且与所述基板和所述蒸镀单元的相对移动方向正交的方向为第一方向、所述基板的法线方向为第二方向时，

在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间，沿所述第一方向配置有各自包括沿所述第二方向排列的多个控制板的多个控制板列。

2.如权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于：

在沿所述第一方向相邻的控制板间的空间内配置有修正板。

3.如权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述修正板配置成使得：从所述蒸镀源开口放出的所述蒸镀颗粒中通过在所述第二方向相对的控制板间的间隙的蒸镀颗粒不附着于所述基板形成所述覆膜。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述修正板配置于沿所述第一方向相邻的控制板间的中央。

5.如权利要求2～4中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述修正板配置于比在所述第二方向相对的控制板间的间隙的下端靠所述基板侧的位置。

6.如权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述多个控制板列构成为使得：从所述蒸镀源开口放出的所述蒸镀颗粒中通过在所述第二方向相对的控制板间的间隙的蒸镀颗粒不附着于所述基板形成所述覆膜。

7.如权利要求2～5中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述修正板能够在所述第二方向上移动。

8.如权利要求1～7中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于：

沿所述第二方向排列的所述多个控制板中的至少一个能够在所述第二方向上移动。

9.如权利要求1～8中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述覆膜为有机EL元件的发光层。

10.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于：

所述有机EL显示装置的制造方法包括使用权利要求1～9中任一项所述的蒸镀方法形成发光层的工序。

11.一种有机EL显示装置，其特征在于：

所述有机EL显示装置包括使用权利要求1～9中任一项所述的蒸镀方法形成的发光层。

12.一种蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀装置是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置，

该蒸镀装置包括：

蒸镀单元，其包括具备放出用于形成所述覆膜的蒸镀颗粒的蒸镀源开口的蒸镀源和配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间的蒸镀掩模；和

移动机构，其在使所述基板和所述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对移动，

设与所述基板的法线方向正交并且与所述基板和所述蒸镀单元的相对移动方向正交的方向为第一方向、所述基板的法线方向为第二方向时，

在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间，沿所述第一方向配置有各自包括沿所述第二方向排列的多个控制板的多个控制板列。