[发明专利]氟化氢供应单元

说明书

技术领域

本发明要求于2010年9月16提交的欧洲专利申请号10177188.9(出于所有的目的将该申请的全部内容通过引用结合在此)的优先权，本发明涉及一种氟化氢供应单元、包含此单元的一种化工设备、以及一种氟化氢供应方法。

背景技术

氟化氢值得注意地作为化学品制造工艺如通过分子氟(F₂)的电解的制造的进料材料是有用的，例如作为半导体工业中的室清洁气体是有用的、并且用于制造其他氟化的化学品如氟化烃类。

参见WO 2004/009873，描述了用于通过氟化氢的电解而产生氟的一种装置和方法。该装置包括：多个单独的氟产生盒(cassette)；所述单独的氟产生盒可操作地连接到一个用于所述氟气体的远程使用和消耗的一个氟气体分配系统上；所述氟产生盒单独地与所述气体分配系统分离并且可从该装置中移除用于远程维护。在第24页第32行提到在一个储箱中保持了一个液体氟化氢供应。一个氟化氢蒸发器将该储箱的液体氟化氢蒸发并且将其供应至这些盒以维持一个恒定的电解质浓度。

现在本发明使得一种允许稳定且经济地供应HF同时将安全风险最小化的氟化氢供应单元是可得的。

发明内容

本发明因此涉及一种氟化氢供应单元，该单元包括多个可运输的氟化氢储存容器(1)，这些容器被连接到一条氟化氢供应管线(2)上，其中这些氟化氢储存容器中的至少一个具有等于或大于500升的容量。优选地，所有这些氟化氢储存容器具有等于或大于500升的容量。

附图说明

图1示出了本发明的一种氟化氢供应单元，它包括多个储存容器1、一条氟化氢供应管线2、一个歧管3以及远程控制的阀门4。图1提供了一个实施方案，其中从这些储存容器1中排出的HF被转运至一个HF电解槽7，在该电解槽中生产F₂。

具体实施方式

“氟化氢”(HF)应理解为具体地表示无水氟化氢。当包含在一个储存容器中时，该氟化氢一般是液态的。优选地，在这些氟化氢储存容器中不含吸附剂。优选地，该无水HF主要由HF组成。

根据本发明的氟化氢供应单元总体上包括从2到20、优选从3到10、更优选4或5或6个储存容器。

在一个具体实施方案中，该氟化氢供应单元进一步包括(优选永久性地)至少一个氟化氢应急容器。此氟化氢应急容器优选地是如在此描述的一个空的氟化氢储存容器，它优选地连接到该氟化氢供应管线上。该氟化氢应急容器适当地被保持在一种惰性气体的压力下或真空下。该氟化氢应急容器一般是可操作的用于从一个泄露氟化氢的储存容器中接收HF。

用于将HF从一个泄露HF的储存容器中转运到该氟化氢应急容器中的装置包括例如惰性气体压力或泵。

在根据本发明的氟化氢供应单元中，这些氟化氢储存容器一般是空心体，它们可以任选地被安装在轮子上或者它们可以通过例如升降叉车来进行运输。该氟化氢储存总体上具有至少一个液体管线和一个气体管线。在此情况下，该液体管线在适当时可以连接到该氟化氢供应管线上，例如借助一种法兰盘连接。该气体管线可以另外地连接到一个惰性气体(例如无水空气或氮气)供应管线上，该惰性气体供应管线允许对该氟化氢储存容器加压。

在根据本发明的氟化氢供应单元中，优选地每个氟化氢储存容器具有的容量是一般从500至5000升、更优选500升至4000升、并且尤其优选地从1000至3000升。氟化氢储存容器的具体例子是UN T22或优选UNT20类型的RID/ADR-IMDG-所认证的储箱。此类储箱是可商购的。

在根据本发明的氟化氢供应单元中，每个储存容器都可以通过一个歧管3被连接到该氟化氢供应管线上。

在根据本发明的氟化氢供应单元中，每个储存容器都优选地可单独地与该氟化氢供应管线分离。

在根据本发明的氟化氢供应单元中，这些储存容器1可以总体上通过一个远程控制的装置4、优选是一个远程控制的阀门而与该氟化氢供应管线2分离。更优选地，每个储存容器都装备有一个远程控制的装置4、优选一个远程控制的阀门，从而允许将该容器与氟化氢供应管线分离。

当存在远程控制的阀门时，适当地另外安装手动阀门。这些远程控制的阀门允许例如从一个远程控制室中操作这些HF储存容器。