[发明专利]压电多层器件及其制造方法有效
申请号: | 201180047380.9 | 申请日: | 2011-09-27 |
公开(公告)号: | CN103210514A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | M.加勒 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/053 | 分类号: | H01L41/053;H01L41/083;H01L41/23;H01L41/257 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 胡莉莉;卢江 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 多层 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种压电多层器件,其具有:
- 压电堆(1),所述压电堆(1)具有压电陶瓷层(2)和内电极(5,6)的交替序列,以及
- 在压电堆(1)的外侧上的钝化部(7),
其特征在于,
- 钝化部(7)的材料是压电陶瓷并且与压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料不同。
2.根据权利要求1所述的压电多层器件,
其中,钝化部(7)的陶瓷具有比压电堆(1)的陶瓷层(2)小的矫顽电场强度。
3.根据权利要求1或2所述的压电多层器件,
其中,钝化部(7)连续地被极化。
4.根据权利要求1至3之一所述的压电多层器件,
其中,钝化部(7)的陶瓷被取得来使得其由于带有极化的特征而比压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料更强烈地被伸长。
5.根据权利要求1至4之一所述的压电多层器件,
其中,钝化部(7)在压电堆(1)的通过陶瓷层(2)和内电极(5,6)的序列限定的纵向方向(11)上具有压缩应力,该压缩应力由于钝化部(7)与压电堆(1)的牢固连接而被保持,并且该压缩应力至少部分地补偿在压电堆(1)在纵向方向(11)上伸展时被施加到钝化部(7)上的拉应力。
6.根据权利要求1至5之一所述的压电多层器件,
其中,钝化部(7)具有为压电堆(1)的陶瓷层(2)的单个陶瓷层的厚度的一倍半的厚度。
7.一种用于制造压电多层器件的方法,
其中,
- 具有压电陶瓷层(2)和内电极(5,6)的交替序列的压电堆(1)被配备有钝化部(7),所述钝化部(7)具有与压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料不同的压电陶瓷,以及
- 钝化部(7)与压电堆(1)的陶瓷层(2)一起被极化。
8.根据权利要求7所述的方法,
其中,钝化部(7)的陶瓷具有比压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料小的矫顽电场强度,并且当钝化部(7)与压电堆(1)的陶瓷层(2)一起被极化时,钝化部(7)连续地被带有极化的特征。
9.根据权利要求7或8所述的方法,
其中,钝化部(7)的陶瓷被选择为使得其在带有极化的特征时比压电堆(1)更强烈地被伸长,
钝化部(7)与压电堆(1)牢固连接,以及
当钝化部(7)与压电堆(1)的陶瓷层(2)一起被极化时,钝化部(7)在压电堆(1)的通过压电陶瓷层(2)和内电极(5,6)的交替序列限定的纵向方向(11)上被配备有压缩应力。
10.根据权利要求7至9之一所述的方法,其中,钝化部(7)以如下厚度被制造:所述厚度是压电堆(1)的陶瓷层(2)的单个陶瓷层的厚度的一倍半。
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