[发明专利]复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法

权利要求书

1.一种复合氧化物烧结体，其主要由锌、铝、钛和氧构成，

构成该烧结体的元素的原子比满足下述式（1）、（2）和（3），

该烧结体由含有作为主要成分的氧化锌且平均粒径为20μm以下的具有六方晶系纤维锌矿型结构的颗粒、以及

含有铝和钛且平均粒径为5μm以下的具有ZnTiO₃型类似结构和/或Zn₂Ti₃O₈型类似结构的颗粒构成，

且其不含固溶有锌和铝的铝酸锌的具有尖晶石氧化物结构的颗粒，

（Al＋Ti）/（Zn＋Al＋Ti）＝0.004～0.055    （1）

Al/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.025    （2）

Ti/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.048    （3）

在上述式（1）、（2）和（3）中，Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量（原子%）。

2.根据权利要求1所述的复合氧化物烧结体，其不含氧化铝颗粒和氧化钛颗粒。

3.一种复合氧化物烧结体的制造方法，其具有如下工序：将成为铝源的粉末和成为钛源的粉末预先混合并预烧，得到平均粒径为1μm以下的第1混合粉末的工序；和

在前述第1混合粉末中追加氧化锌粉末并混合，得到用金属元素的原子比表示满足下述式（1）、（2）和（3）的第2混合粉末的工序；和

将前述第2混合粉末成形并在800～1500℃下焙烧，得到权利要求1或2所述的复合氧化物烧结体的工序，

（Al＋Ti）/（Zn＋Al＋Ti）＝0.004～0.055    （1）

Al/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.025    （2）

Ti/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.048    （3）

在上述式（1）、（2）和（3）中，Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量（原子%）。

4.一种溅射靶材，其是由权利要求1或2所述的复合氧化物烧结体形成的。

5.根据权利要求4所述的溅射靶材，其具有中心线平均粗糙度Ra为3μm以下的溅射面。

6.一种氧化物透明导电膜的制造方法，其具有使用权利要求4或5所述的溅射靶材来溅射的工序。

7.一种氧化物透明导电膜，其是通过权利要求6的制造方法得到的。