[发明专利]自旋注入电极的制造方法

权利要求书

1.一种自旋注入电极的制造方法，其特征在于，包括：

第一步骤，准备多层石墨烯和作为与所述石墨烯接触的铁磁性体的、含Fe₃O₄的铁氧化物；和

第二步骤，在所述石墨烯与所述铁氧化物之间施加以所述石墨烯一侧为正的电压或电流，通过

（a）使所述石墨烯的与所述铁氧化物接触的部分氧化而成为氧化石墨烯，在所述石墨烯与所述铁氧化物之间形成由所述氧化石墨烯构成的势垒层，或

（b）使所述石墨烯的与所述铁氧化物接触的部分和氧化而成为氧化石墨烯，并且使所述铁氧化物的与所述石墨烯接触的部分所含的Fe₃O₄氧化而成为Fe₂O₃，在所述石墨烯与所述铁氧化物之间形成由所述氧化石墨烯和Fe₂O₃构成的势垒层，

形成自旋注入电极，该自旋注入电极具有所述石墨烯、所述铁氧化物和配置在所述石墨烯与所述铁氧化物的界面的所述势垒层，能够从所述铁氧化物经所述势垒层向所述石墨烯注入自旋。

2.如权利要求1所述的自旋注入电极的制造方法，其特征在于：

在所述第二步骤，对所述石墨烯与所述铁氧化物之间施加脉冲状的电压或电流。

3.如权利要求1所述的自旋注入电极的制造方法，其特征在于：

所述第二步骤包括：对所述石墨烯与所述铁氧化物之间施加所述电压或电流的第一子步骤；检测包括所述石墨烯与所述铁氧化物间的电阻值的信息的电信号的第二子步骤；以及验证所述检测出的电信号是否为在所述电阻值达到规定的值时得到的电信号的第三子步骤，

在第二步骤，依次反复进行所述第一子步骤、所述第二子步骤和所述第三子步骤，直至所述检测出的电信号成为在所述电阻值达到规定的值时得到的电信号为止。

4.如权利要求1所述的自旋注入电极的制造方法，其特征在于：

在所述第一步骤，准备还包括Fe₂O₃的所述铁氧化物。

5.如权利要求1所述的自旋注入电极的制造方法，其特征在于：

在所述第一步骤，通过利用脉冲激光沉积法使所述铁氧化物沉积在所述石墨烯的表面，准备所述石墨烯和作为与所述石墨烯接触的铁磁性体的所述铁氧化物。