[发明专利]用于确定物体的污染的设备和方法

权利要求书

1.一种用于确定具体是工件的物体的污染的设备（100、400），所述设备（100、400）具有用于通过流体清洗去除聚集在各物体（102、402）上的污物微粒（178、478）的清洗区（120、420），并且具有收集装置（142、442），所述收集装置（142、442）具有至少一个用于捕获从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（178、478）的保持装置（168、604），

其特征在于，

所述设备（100、400）包括运输装置（152、652），所述运输装置（152、652）用于将被所述至少一个保持装置（168、604）捕获的污物微粒（178、478）从各物体（102、402）移动到用于测量从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（178、478）的至少一个物理参数的测量装置（170、470）。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述测量装置包括分析装置（174、474），其中涉及从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（171、478）的测量信息被用于确定该物体（102、402）的污染程度。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述运输装置（152、652）将所述至少一个保持装置（168、604）从所述收集装置（142、442）移动到所述测量装置（170、470）。

4.根据权利要求1至3中一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个保持装置包括被保持在膜保持器（606）内的过滤器膜（604）。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述运输装置是被自动控制的操作器，具体地是机器人（652），所述操作器用于将所述膜保持器（606）从仓盒（608）移动到所述收集装置（442）内和/或从所述收集装置（442）移动到所述测量装置（470）内。

6.根据权利要求1至3中一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个保持装置包括过滤器带（146）的一部分（168）。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述过滤器带（146）能够从展开站（150）移动到缠绕站（151）且用作用于所述过滤器带（146）内的所述部分（168）的运输装置（152）。

8.根据权利要求1至8中一项所述的设备，其特征在于，用于使清洗去除污物微粒（178、478）的流体（162、462）循环的管线系统（136、436）被提供在所述清洗区（120、420）内，且至少一个喷嘴（114、414）布置在所述清洗区（120、420）内用于利用流体（162、462）进行清洗去除。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，用于吸入通过所述至少一个保持装置（168、604）受到污物微粒的流体（162、462）的抽吸装置（160、460）布置在所述管线系统（136、436）内。

10.根据权利要求1至9中一项所述的设备，其特征在于，包括围绕所述清洗区（120、420）的腔室（104、404）和用于在所述清洗区（120、420）内设置正压力和/或用于通过将已被去除污物微粒（178、478）的气态流体（101、301）供应到所述腔室（104、404）内来清洗所述清洗区（120、420）的装置。

11.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，能够供应到所述腔室（104、404）内的所述气态流体已通过过滤器（122、422）以从中去除污物微粒。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述过滤器（122、422）包括以波状的或锯齿的方式布置的玻璃纤维垫。

13.根据权利要求1至12中一项所述的设备，其特征在于，用于利用流体（162，462）清洗所述腔室（104、404）的腔室壁（117、417）的装置（115、415）布置在所述腔室（104、404）内。

14.根据权利要求1至13中一项所述的设备，其特征在于，所述测量装置（170）具有带有数字照相机（172）和评估计算机（174）的显微镜（171、471）。