[发明专利]驱动CO2气体放电激光器的多输出电源的阻抗匹配电路

权利要求书

1.一种将多个射频电源连接到负载的阻抗匹配网络，所述网络具有输入阻抗和输出阻抗，所述负载具有负载阻抗，所述网络包括：

多个射频传输线，数量上等于所述多个射频电源，所述射频电源具有电源阻抗，每一个传输线连接到这些电源相应一个，通过第一射频合路器将这些传输线连接到所述负载；

每一个传输线包括一对串联传输线部分，在所述对中每一个部分具有在所述电源的工作频率处波长的大约十二分之一的电长度；合

在一个传输线中的传输线部分之间的串联连接到在至少另一个传输线中的传输线部分之间的串联，所述连接包括具有在第一预定范围内可调整的阻抗的装置，用于将所述网络的输入和输出阻抗之一匹配到所述电源阻抗和所述负载阻抗中对应的那一个。

2.如权利要求1所述的阻抗匹配网络，其中所述电源阻抗具有固定值，所述负载阻抗具有在第二预定范围内的值，将所述可调整阻抗调整使得所述网络的输出阻抗匹配所述负载阻抗的值。

3.如权利要求1所述的阻抗匹配网络，其中存在两个在其输出之间存在180度的相位差的射频电源，所述可调整阻抗是可调整电容。

4.如权利要求3所述的阻抗匹配网络，其中所述第一射频合路器是平衡到不平衡变压器。

5.如权利要求1所述的阻抗匹配网络，其中所述负载阻抗具有固定值，所述电源阻抗具有在第二预定范围内的值，将所述可调整阻抗调整使得所述网络的输入阻抗匹配所述电源阻抗的值。

6.如权利要求5所述的阻抗匹配网络，其中在所述多个射频电源的输出之间存在零相位差，所述可调整阻抗装置包括第二射频合路器，设置用来在公共节点处将在其多个中十二分之一波长传输线对之间的串联连接在一起，具有通过可调整电抗分流接地的公共节点。

7.如权利要求6所述的阻抗匹配网络，其中存在两个具有大约相同输出功率的射频电源和两个传输线，所述第二射频合路器是零度双向合路器，由具有这些射频电源的工作频率处波长的大约二十分之一的电长度的传输线的第一单个部分构成，所述可变电抗是可变电容。

8.如权利要求7所述的阻抗匹配网络，其中第一射频合路器是零度双向合路器，由具有所述射频电源的工作频率处波长的大约二十分之一的电长度的传输线的第二单个部分构成。

9.如权利要求7所述的阻抗匹配网络，其中第一射频合路器包括第一和第二传输线部分，每一个具有所述射频电源的工作频率处波长的大约二分之一的电长度，所述第一半波传输线部分串行连接于在这些传输线之一中的十二分之一波长传输线部分对，所述第二半波传输线部分串行连接于在这些传输线另一个中的十二分之一波长传输线部分对，所述第一和第二半波传输线部分连接在公共节点，所述公共节点连接所述负载。

10.如权利要求6所述的阻抗匹配网络，其中存在三个具有大约相同输出功率的射频电源和三个传输线，所述第二射频合路器是由每一个具有在所述射频电源工作频率处波长的大约二十分之一的电长度的传输线第一，第二和第三部分构成的零度三向合路器。

11.如权利要求10所述的阻抗匹配网络，其中所述第一射频合路器包括第一，第二和第三传输线部分，每一个具有所述射频电源工作频率处大约一半波长的电长度，所述第一半波传输线部分串行连接于所述三个传输线第一个中的十二分之一波长传输线部分对，所述第二半波传输线部分串行连接于所述三个传输线第二个中的十二分之一波长传输线部分对，所述第一，第二和第三半波传输线部分连接在公共节点，所述公共节点连接所述负载。

12.如权利要求6所述的阻抗匹配网络，其中存在两个具有不同输出功率的射频电源和两个传输线，这两个传输线之一具有第一传输线部分，所述第一传输线部分具有连接在所述十二分之一波长传输线部分对和所述两个射频电源第一个之间的射频电源的工作频率处的四分之一波长的电长度，所述两个传输线的另一个具有第二传输线部分，所述第二传输线部分具有连接在所述十二分之一波长传输线部分对和所述第一射频合路器之间的射频电源的工作频率处的四分之一波长的电长度，其中所述第二射频合路器是零度双向合路器，由具有在所述射频电源的工作频率处波长的大约二十分之一的电长度的第一单个传输线部分构成，所述可变电抗包括并行于可变电容的电感。