[发明专利]Al基合金溅射钯及其制造方法

权利要求书

1.一种Al基合金溅射钯，其特征在于，含有Ta。

2.如权利要求1所述的Al基合金溅射钯，其中，

含有Al及Ta的Al-Ta系金属间化合物的平均粒子直径为0.005μm以上且1.0μm以下，且所述Al-Ta系金属间化合物的平均粒子间距离为0.01μm以上且10.0μm以下。

3.如权利要求2所述的Al基合金溅射钯，其中，

氧含量为0.01原子％以上且0.2原子％以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由稀土类元素构成的第1组、

由Fe、Co、Ni、及Ge构成的第2组、

由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、及W构成的第3组、以及

由Si及Mg构成的第4组中的至少一组中的至少一种元素。

5.如权利要求3所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由稀土类元素构成的第1组中的至少一种元素。

6.如权利要求3所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Fe、Co、Ni、及Ge构成的第2组中的至少一种元素。

7.如权利要求5所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Fe、Co、Ni、及Ge构成的第2组中的至少一种元素。

8.如权利要求6所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、及W构成的第3组中的至少一种元素。

9.如权利要求7所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、及W构成的第3组中的至少一种元素。

10.如权利要求8所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Si及Mg构成的第4组中的至少一种元素。

11.如权利要求9所述的Al基合金溅射钯，其中，

还含有选自由Si及Mg构成的第4组中的至少一种元素。

12.如权利要求5所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第1组中的至少一种元素为选自由Nd及La构成的组中的至少一种元素。

13.如权利要求5所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第1组中的至少一种元素为Nd。

14.如权利要求7所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第2组中的至少一种元素为选自由Ni及Ge构成的组中的至少一种元素。

15.如权利要求9所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第3组中的至少一种元素为选自由Ti、Zr、及Mo构成的组中的至少一种元素。

16.如权利要求9所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第3组中的至少一种元素为Zr。

17.如权利要求11所述的Al基合金溅射钯，其中，

所述选自第4组中的至少一种元素为Si。

18.如权利要求1所述的Al基合金溅射钯，其中，

维氏硬度Hv为26以上。

19.一种Al基合金溅射钯的制造方法，其特征在于，

其为制造权利要求1所述的Al基合金溅射钯的方法，

利用喷射成型法得到合金铸锭后，依次进行致密化操作、锻造、热轧、退火时，在下述的条件下进行上述喷射成型法、热轧、及退火，

喷射成型时的熔解温度：700～1400℃

喷射成型时的气体/金属比：10Nm³/kg以下

热轧的轧制开始温度：250～500℃

热轧后的退火温度：200～450℃。

20.如权利要求19所述的制造方法，其中，

在所述退火后，还在下述的条件下进行冷轧及冷轧后的退火，

冷轧的冷轧率：5～40％

冷轧后的退火温度：150～250℃

冷轧后的退火时间：1～5小时。