[发明专利]超声波转换器以及使用其的超声波诊断装置

权利要求书

1.一种超声波转换器，其具备：下部电极、形成在所述下部电极上并被绝缘膜包围的空洞部、形成在所述空洞部上的上部电极、以及形成在所述空洞部内的多个绝缘膜的突起，

其特征在于，

所述超声波转换器具备形成在所述空洞部上的多个刚性部件，

所述下部电极和所述上部电极之中的至少一方的电极通过对与所述绝缘膜的突起重合的部分进行挖空，从而被配置在俯视时不与所述绝缘膜的突起重合的位置，

各个所述刚性部件被配置成存在俯视时与所述绝缘膜的突起重合的区域。

2.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述刚性部件是梁部件，

在由所述绝缘膜、所述上部电极及所述梁部件构成的膜片中，配置有所述梁部件的部分的厚度比未配置梁部件的部分厚，厚的量是梁部件的厚度部分。

3.如权利要求2所述的超声波转换器，其特征在于，

所述超声波转换器具备以覆盖所述上部电极以及所述空洞部的方式形成的上部绝缘膜，所述梁部件配置在所述上部绝缘膜上。

4.如权利要求2所述的超声波转换器，其特征在于，

所述超声波转换器具备以覆盖所述上部电极以及所述空洞部的方式形成的上部绝缘膜，所述梁部件被埋入所述上部绝缘膜的内部。

5.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述刚性部件是杨氏模量比由所述绝缘膜、所述上部电极及所述梁部件构成的膜片高的高杨氏模量部件。

6.如权利要求5所述的超声波转换器，其特征在于，

所述超声波转换器具备以覆盖所述上部电极以及所述空洞部的方式形成的上部绝缘膜，所述高杨氏模量部件被埋入所述上部绝缘膜的内部。

7.如权利要求6所述的超声波转换器，其特征在于，

所述高杨氏模量部件通过埋入钨等金属材料或氧化铝等陶瓷材料而形成。

8.如权利要求6所述的超声波转换器，其特征在于，

所述高杨氏模量部件通过离子的打入而对所述上部绝缘膜进行改质而形成。

9.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述刚性部件的中心被配置成俯视时与所述绝缘膜的突起的中心一致。

10.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

多个所述绝缘膜的突起相对于一个所述刚性部件重合配置。

11.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述绝缘膜的突起配置在所述空洞部的上表面。

12.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述绝缘膜的突起配置在所述空洞部的下表面。

13.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述多个绝缘膜的突起与所述多个刚性部件在俯视时以等间隔配置。

14.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述空洞部在俯视时是圆形或多边形。

15.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述绝缘物的突起在俯视时是圆形或多边形。

16.如权利要求1所述的超声波转换器，其特征在于，

所述刚性部件在俯视时是圆形、十字型形状或多边形。

17.一种超声波诊断装置，其特征在于，具备权利要求1至16中任一项所述的超声波转换器以及偏压部。