[发明专利]压电振动装置

权利要求书

1.一种压电振动装置，具备：

压电元件，其具有：压电体，其具有相互对置的第1主面以及第2主面；第1驱动电极，其与第1主面平行地形成在所述压电体的所述第1主面侧；和第2驱动电极，其与第2主面平行地形成在所述压电体的所述第2主面侧，并且与所述第1驱动电极对置，所述第1驱动电极、第2驱动电极在所述压电体的厚度方向上对置的区域设为活性区域，所述第1驱动电极和所述第2驱动电极未对置的区域设为非活性区域；以及

支承构件，其具有接合所述压电元件的压电元件接合面，

所述支承构件具有第1布线电极，该第1布线电极形成在所述压电元件接合面，并且与所述压电元件的第1驱动电极电连接，

所述压电振动装置还具备第1接合件层，该第1接合件层将所述压电元件的所述第1驱动电极与所述支承构件的所述第1布线电极电连接，并且将所述压电元件的第1主面与所述支承构件的压电元件接合面接合。

2.根据权利要求1所述的压电振动装置，其中，

所述压电元件还具有连接电极，该连接电极在所述压电体的所述非活性区域中形成在所述压电体的第1主面，并且与形成在所述第2主面的第2驱动电极电连接，

所述支承构件还具有第2布线电极，该第2布线电极形成在所述压电元件接合面，并且与所述第2驱动电极电连接，

所述压电振动装置还具备第2接合件层，该第2接合件层将所述连接电极与所述第2布线电极电连接，并且将所述压电元件的第1主面与所述支承构件的压电元件接合面接合。

3.根据权利要求1或2所述的压电振动装置，其中，

所述支承构件存在用于从外部支承所述支承构件的弯曲模式支承部，使得所述压电元件以弯曲模式进行振动时，所述支承构件与该压电元件一起以相同频率的弯曲模式进行振动。

4.根据权利要求3所述的压电振动装置，其中，

所述弯曲模式支承部位于周边部，该周边部位于接合了所述压电元件的区域的外侧，所述第1布线电极到达所述周边部。

5.根据权利要求4所述的压电振动装置，其中，

所述支承构件中的至少1次弯曲模式的节点位于所述弯曲模式支承部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的压电振动装置，其中，

所述压电元件还具有保护层，该保护层形成在所述压电体的第1主面，并且由绝缘性材料构成，所述保护层与所述支承构件的压电元件接合面接合。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电振动装置，其中，

所述压电元件还具有按照覆盖所述第2驱动电极的方式形成在所述压电体的第2主面并且由绝缘性材料构成的保护层。

8.根据权利要求6或7所述的压电振动装置，其中，

所述保护层由与所述压电体相同的材料构成。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的压电振动装置，其中，

所述支承构件具有相对置的第1压电元件接合面、第2压电元件接合面，在第1压电元件接合面、第2压电元件接合面分别接合了所述压电元件。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的压电振动装置，其中，

所述压电体以及所述支承构件具有矩形的平面形状，该矩形具有短边和长边，并且所述支承构件的矩形的短边的长度与所述压电体的矩形的短边的长度相等，

所述第1驱动电极、第2驱动电极形成为跨越所述压电体的所述短边方向全长。

11.根据权利要求10所述的压电振动装置，其中，

所述第1驱动电极形成在所述压电体的第1主面，

所述第2驱动电极形成在所述压电体的第2主面的整个面上，

所述压电元件还具有在所述压电体的所述非活性区域中形成在所述压电体的第1主面上并且与所述第2驱动电极电连接的连接电极，

该连接电极形成为从所述压电体的所述第1主面到达所述压电体的侧面，并且在所述压电体的侧面和第2主面构成的棱线处与所述第2驱动电极连接。

12.根据权利要求11所述的压电振动装置，其中，

所述支承构件的所述矩形的长边的长度比所述压电元件的所述矩形的长边的长度长，所述第1布线电极到达所述支承构件的接合了所述压电元件的部分的侧方区域。

13.根据权利要求12所述的压电振动装置，其中，

将所述支承构件的所述矩形的所述长边的长度设为L1，将所述压电体中的活性区域的沿所述支承构件的所述矩形的长边方向的长度设为L2时，(L2/L1)×100％为75％以上。