[发明专利]硅锭制造用容器

权利要求书

1.一种硅锭制造用容器，为用于使硅熔融液凝固而使多晶硅生长的硅锭制造用容器，其特征在于，

在由氮化硅或碳化硅的多孔体构成的容器本体的内表面，形成有由氮化硅构成的脱模材料。

2.根据权利要求1所述的硅锭制造用容器，其特征在于，所述多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。

3.根据权利要求1所述的硅锭制造用容器，其特征在于，所述多孔体的开口气孔率为20%以上30%以下。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的硅锭制造用容器，其特征在于，由所述氮化硅的多孔体构成的容器本体的金属杂质(Fe、Al、Mn、Mg、Ca、Cu、Ti、Cr、Ni、W、V、Zn、Zr)分别为1000ppm以下。

5.根据权利要求4所述的硅锭制造用容器，其特征在于，由所述氮化硅的多孔体构成的容器本体的金属杂质(Fe、Al、Mn、Mg、Ca、Cu、Ti、Cr、Ni、W、V、Zn、Zr)分别为10ppm以下。

6.根据权利要求1至3中的任一项所述的硅锭制造用容器，其特征在于，由所述碳化硅的多孔体构成的容器本体的金属杂质(Fe、Al、Mn、Mg、Ca、Cu、Ti、Cr、Ni、W、V、Zn、Zr)分别为100ppm以下。

7.根据权利要求6所述的硅锭制造用容器，其特征在于，由所述碳化硅的多孔体构成的容器本体的金属杂质(Fe、Al、Mn、Mg、Ca、Cu、Ti、Cr、Ni、W、V、Zn、Zr)分别为10ppm以下。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的硅锭制造用容器，其特征在于，所述脱模剂的厚度为300至1000μm。

9.根据权利要求8所述的硅锭制造用容器，其特征在于，所述脱模剂的厚度为350至600μm。