[发明专利]传感器组件和用于确定第一部分相对于第二部分的空间位置的方法有效

专利信息
申请号: 201180049003.9 申请日: 2011-08-04
公开(公告)号: CN103229024A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: T.恩格尔;U.洛雷特 申请(专利权)人: 卡尔蔡司工业测量技术有限公司;感应技术有限责任公司
主分类号: G01D5/14 分类号: G01D5/14;G01B7/012
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邱军
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 传感器 组件 用于 确定 第一 部分 相对于 第二 空间 位置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于确定第一部分(76;114)相对于第二部分(78;112)的空间位置的传感器组件,包括至少一个磁体(74),该磁体布置在所述第一部分(76;114)上并产生磁场(75;124;126),该磁场延伸至所述第二部分(78;112),并且该传感器组件包括第一磁场传感器和第二磁场传感器(80、82),它们在所述第二部分(78;112)上布置为彼此相隔空间距离(84),并且每一个磁场传感器产生依赖于所述磁场(75;124;126)的输出信号(86、88),其中所述至少一个磁体(74)位于由所述第一和第二磁场传感器(80、82)之间的所述空间距离(84)限定的间隔中,并且其中所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88)组合,以形成共同的传感器信号(94、100),所述共同的传感器信号依赖于所述第一部分(76;114)沿着限定的测量轴(96)相对于所述第二部分(78;112)的空间位置,所述传感器组件的特征在于:

所述限定的测量轴(96)相对于所述空间距离(84)横向延伸,并且所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88)本质上表示在各个磁场传感器(80、82)的位置处的磁场方向。

2.根据权利要求1的传感器组件,其特征在于加法器(92),该加法器将所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88)加起来,以提供所述共同的传感器信号(94)。

3.根据权利要求1或2的传感器组件,其特征在于减法器(98),该减法器形成所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88)之间的差值,以提供所述共同的传感器信号(100)。

4.根据权利要求1至3中的一项的传感器组件,其特征在于,每一个所述磁场传感器(80、82)包括电阻,该电阻的变化依赖于所述磁场方向。

5.根据权利要求1至4中的一项的传感器组件,其特征在于,所述第一和第二磁场传感器(80、82)各自产生两个不同的模拟输出信号(86a、86b、88a、88b),每一个模拟输出信号都具有瞬时值,所述瞬时值正弦地或余弦地依赖于在各个磁场传感器(80、82)的位置处的磁场方向。

6.根据权利要求1至5中的一项的传感器组件,其特征在于至少四个磁场传感器(80a、80b、82a、82b),该四个磁场传感器形成第一对和第二对,每一对都具有第一和第二磁场传感器,其中每一对都关于至少两个相互正交的测量轴(96a、96b)中的一个产生共同的传感器信号(94、100)。

7.根据权利要求6的传感器组件,其特征在于,所述第二部分包括部件支撑件(112),所述对的所述磁场传感器(80、82)共同布置在所述部件支撑件上。

8.根据权利要求7的传感器组件,其特征在于,所述部件支撑件(112)包括中心凹槽(124),其中布置有所述至少一个磁体(74)。

9.根据权利要求8的传感器组件,其特征在于多个磁体(74a、74b、74c、74d),该多个磁体布置在所述凹槽(124)中,并产生共同的磁场(124;126)。

10.根据权利要求7至9中的一项的传感器组件,其特征在于,所述部件支撑件(112)包括上侧(116)和下侧(118),在上侧和下侧的每一个上都布置有第一和第二磁场传感器(80、82)。

11.根据权利要求1至10中的一项的传感器组件,其特征在于温度校正平台(34),其被设计为由所述输出信号(86、88)确定所述第一部分(76;114)相对于所述第二部分(78;112)的热致位置变化。

12.一种用于坐标测量仪的探头,包括探头基体(52)和传感元件(22),该探头被可移动地安装在所述探头基体(52)上,并包括根据权利要求1至10中的任一项的传感器组件(110),用于确定所述传感元件(22)相对于所述探头基体(52)的实际位置。

13.一种用于确定第一部分(76;114)相对于第二部分(78;112)的空间位置的方法,所述方法包括以下步骤:

-将至少一个磁体(74)布置在所述第一部分(76;114)上,使得所述磁体(74)产生延伸至所述第二部分(78;112)的磁场(75;124;126);

-将彼此相隔空间距离(84)的第一和第二磁场传感器(80、82)布置在所述第二部分(78;112)上,其中,所述至少一个磁体(74)位于由所述第一和第二磁场传感器(80、82)之间的所述空间距离(84)限定的间隔中;

-接收来自所述第一磁场传感器(80)的第一输出信号(86),并且接收来自所述第二磁场传感器(82)的第二输出信号(88),其中所述第一和第二输出信号(86、88)依赖于各个磁场传感器(80、82)在所述磁场(75;124;126)中的传感器位置;以及

-通过组合所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88),以形成共同的传感器信号(94),来确定共同的传感器信号(94),所述共同的传感器信号依赖于所述第一部分(76;114)沿着限定的测量轴(96)相对于所述第二部分(78;112)的空间位置;

所述方法的特征在于:

将所述限定的测量轴(96)选择为相对于所述空间距离(84)是横向的,并且所述第一和第二磁场传感器(80、82)的所述输出信号(86、88)本质上表示在各个磁场传感器(80、82)的位置处的磁场方向。

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