[发明专利]用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置以及相应的方法

权利要求书

1.用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置，包括

具有至少一个固定的电极(1)的衬底(S)，

可运动地布置在衬底(1)处的惯性质量(10)，

布置在惯性质量(10)处的至少一个接地电极(2)，其中，

固定的电极(1)和接地电极(2)被设计在一个测量平面(E)中，用于测量在该测量平面(E)中的加速度，压力或类似量，和其中，

固定的电极(1)和接地电极(2)被设计用于测量垂直于测量平面(E)地作用于惯性质量(10)上的加速度，压力或类似量。

2.按照权利要求1所述的微机械的装置，其中，

惯性质量(10)设计成可围绕一个旋转轴(11)转动，其中，旋转轴(11)布置在测量平面(E)中。

3.按照权利要求1-2中至少一项所述的微机械的装置，其中，

固定的电极(1)和接地电极(2)设计成用于在固定的电极和接地电极(1，2)之间形成至少两个电容(C₁，C₂)。

4.按照至少权利要求3所述的微机械的装置，其中，

固定的电极(1)包括至少两个金属的第一区域(3a，3b，4a，4b)和接地电极(2)包括至少一个金属的第二区域(6，6a，6b)，其中，第一和第二区域(3a，3b，4a，4b，6，6a，6b)共同作用以形成至少两个电容(C₁，C₂)。

5.按照权利要求1-4中至少一项所述的微机械的装置，其中，

在惯性质量(10)的关于旋转轴(11)相对置的侧面上，各至少一个接地电极(2a，2b)被布置在惯性质量(10)处和各至少一个固定的电极(1a，1b)被布置在衬底(S)处。

6.按照权利要求1-5中至少一项所述的微机械的装置，其中，

一个固定的电极(2a，2b)的各上部的第一金属的区域(3a，3b)被与另一个固定的电极(2a，2b)的各下部的第一金属的区域(4a，4b)连接，以测量加速度，压力或类似量。

7.按照权利要求1-6中至少一项所述的微机械的装置，其中，

第一和/或第二金属的区域(3a，3b，4a，4b，6，6a，6b)各包括至少两个相互上下布置的金属层(12a，12b)，它们被相互电气地连接起来，尤其是借助于金属化通孔(13)。

8.按照权利要求1-7中至少一项所述的微机械的装置，其中，

固定的电极(1)和/或接地电极(2)包括至少一个分离的，尤其是介电的，层(5a，5b，5c，5d，5e)。

9.用于测量加速度，压力或类似量的方法，其尤其适用于利用按照权利要求1-7中至少一项所述的微机械的装置来实施，包括步骤：

（S₁）在衬底（S）处布置至少一个固定的电极（1）和在可运动地布置在衬底（S）处的惯性质量(10)处布置至少一个接地电极（2），其中，固定的电极（1）和接地电极（2）共同作用，以测量在测量平面（E）中的加速度，压力，或类似量，

（S₂）将外力垂直于测量平面（E）地作用于惯性质量（10）上，

（S₃）基于外力使惯性质量（10）在垂直于测量平面（E）的方向（R）上偏移，

（S₄）测量在至少一个接地电极（2），和至少一个固定的电极（1）之间的电容（C₁，C₂）的改变，以及

(S₅)借助于测量的电容(C₁，C₂）的改变确定加速度，压力或类似量。

10.按照权利要求1-7中至少一项所述的微机械的装置的用途，其用于测量加速度和/或压力。