[发明专利]图案测定方法、图案测定装置以及利用其的程序

权利要求书

1.一种图案测定装置，其特征在于，具备：

测定区域设定部，其在通过对样品进行摄像而获得的图像数据中设定测定区域；

匹配部，其在所述图像数据与预先所存储的图案数据之间进行图案匹配；

非测定对象区域设定部，其将通过该匹配部进行了对位的所述图像数据中的规定区域，设定为从测定对象中排除在外的区域；和

图案测定部，其提取在该测定区域包含的信号，来测定形成于所述样品上的图案，

所述图案测定部将在所述测定区域与所述规定区域相重叠的区域中包含的信号排除在外来进行图案测定。

2.根据权利要求1所述的图案测定装置，其特征在于，

所述图案数据是所述样品的设计数据、仿真数据、参照图像、根据测定图案所取得的信号信息中的任意一个。

3.根据权利要求1或者2所述的图案测定装置，其特征在于，

所述规定区域是利用所述图案数据来设定的。

4.根据权利要求3所述的图案测定装置，其特征在于，

所述规定区域是利用所述样品的设计数据、仿真数据、参照图像、根据测定图案所取得的信号信息中的任意一个来设定的。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的图案测定装置，其特征在于，

与包含在将所述测定区域中的所述规定区域排除后的区域中的图案相比，包含在所述图像数据中的规定区域内的图案与所述图案数据之间的形状误差相对小。

6.根据权利要求5所述的图案测定装置，其特征在于，

在所述图像数据中的规定区域内包含的图案与所述图案数据之间的形状误差为规定的阈值以下。

7.一种扫描型电子显微镜系统，其特征在于，具备：

图像处理装置，其具有权利要求1至6中任意一项所述的图案测定装置；

控制用计算机，其对扫描型电子显微镜和图像处理装置进行控制；

输入单元，扫描型电子显微镜，其输入用于进行图案匹配以及图案测定的参数等；和

显示装置，其对来自扫描型电子显微镜的图像数据、图案匹配以及图案测定结果进行显示。

8.一种图案测定方法，其特征在于，包括：

测定区域设定步骤，在通过对样品进行摄像而获得的图像数据中设定测定区域；

匹配步骤，在所述图像数据与预先所存储的图案数据之间进行图案匹配；

非测定对象区域设定步骤，将由该匹配步骤进行了对位的所述图像数据中的规定区域设定为从测定对象中排除在外的区域；和

图案测定步骤，提取包含在该测定区域的信号，来测定形成于所述样品上的图案，

在所述图案测定步骤中，将在所述测定区域与所述规定区域相重叠的区域中包含的信号排除在外来进行图案测定。

9.一种程序，其特征在于，具备：

计算机，其经由网络或经由外部连接型的存储器能接收扫描型电子显微镜的图像数据、预先所存储的图案数据；

输入单元，其输入用于进行图案匹配以及图案测定的参数等；和

显示装置，其显示来自扫描型电子显微镜的图像数据、图案匹配以及图案测定结果，

通过软件处理来实现权利要求1所述的图案测定装置的功能。