[发明专利]用于气密密封薄膜用途的带弧面的支承栅板

权利要求书

1.用于发射器的出射窗，包括：

支承板，所述支承板具有允许波束从其中穿过的一系列孔；以及

粘合在所述支承板上的出射窗箔，

所述支承板具有平坦表面和至少一个表面凹陷部，所述表面凹陷部允许所述出射窗箔的各部分能够搁置于该凹陷部内，从而减少褶皱形成。

2.如权利要求1所述的出射窗，其中所述支承板具有第一形状的所述表面凹陷部。

3.如权利要求2所述的出射窗，其中第一形状的所述表面凹陷部相对于所述支承板在横向上延伸。

4.如权利要求2所述的出射窗，其中第一形状的所述表面凹陷部位于所述支承板的中央区域，并且第二形状的所述表面凹陷部位于所述支承板的边缘区域。

5.如权利要求2所述的出射窗，其中第一形状的所述表面凹陷部相对于所述支承板在纵向上延伸。

6.如权利要求1所述的出射窗，其中所述至少一个表面凹陷部相对于所述支承板在纵向上延伸。

7.如权利要求1所述的出射窗，其中所述至少一个表面凹陷部包括至少一个槽。

8.用于出射窗的支承板的制造方法，所述出射窗具有箔透射层，所述方法包括：

设置由第一材料构成的支承栅板，所述第一材料具有第一热膨胀系数；

设置透射材料层，所述透射材料层具有长度、宽度和初始表面积，所述透射材料层覆盖所述支承栅板以在所述支承栅板上形成密封件，所述透射材料层具有不同的第二热膨胀系数；

将热膨胀之后的所述透射材料层的表面积所代表的膨胀表面积确定为至少所述第一热膨胀系数和所述第二热膨胀系数的函数；以及

在所述支承栅板上形成弧面，使得所述支承栅板在所述弧面的上表面上的表面积能够与所述膨胀表面积相比拟。

9.如权利要求8所述的方法，还包括：将所述膨胀表面积确定为由扩散粘合操作导致增加的热量所引起的热膨胀的函数。

10.如权利要求8所述的方法，还包括：在所述透射材料层上定位膨胀起始点，所述膨胀起始点代表热膨胀处理的开始位置。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述定位包括识别与下列二者之间的边界接近的位置：一是所述支承栅板与所述透射材料层之间的接合点；二是所述透射材料层的自由部。

12.如权利要求8所述的方法，还包括：选择对于所述弧面的表面精加工。

13.如权利要求8所述的方法，还包括：在所述支承栅板的整个上表面上布置多个大体上均匀间隔开的所述弧面。