[发明专利]用于制作至少一个集成电路组件的互连或重定向线路的方法在审

专利信息
申请号: 201180052550.2 申请日: 2011-10-18
公开(公告)号: CN103168348A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: B.迪博瓦;R.科舒瓦 申请(专利权)人: 格马尔托股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/538
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 叶晓勇;李浩
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 用于 制作 至少 一个 集成电路 组件 互连 定向 线路 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制作集成电路组件1上的互连线路(3)的方法,所述方法包括下列步骤:

-将至少一个芯片(2)固定或部分覆盖在载板(4)上,以使得提供朝外部定向的所述芯片的有源面(8),所述集成电路组件具有设置在所述芯片的有源面上的电接触垫(5a,5b,15a,15b),

-直接  在所述有源表面上制作绝缘层(6,16)而没有覆盖所述接触垫或者可用于组件的应用的至少那些接触垫,所述绝缘层(16,26)包括构成从所述芯片的所述有源表面的一个边缘(20,40)一直延伸到所述载板的所述表面(S)的桥的至少一部分,

-制作至少部分在所述绝缘层之上从所述接触垫(5a,5b,15a,15b)一直延伸到外部点(p)的导电重定向或互连轨线(3),

其特征在于,所述导电重定向或互连轨线(3)一直延伸到所述载板上设置的所述点,从而留下所述桥。

2.根据前一权利要求所述的方法,其特征在于,所述芯片(2)具有基本上设置在所述芯片的所述有源面(8)的相对的边缘(18,19)附近的两行电接触垫(5a,5b),以及所述绝缘层(16,26)采取在所述两行垫之间延伸的带或若干段的形式来制作。

3.根据前一权利要求所述的方法,其特征在于,所述导电轨线(3,13)从所述垫垫(5a,5b,15a,15b)朝所述有源表面内部延伸,以使得由绝缘层(16,26)的所述桥承载,一直到所述外部点(p)。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述芯片(2)具有基本上设置在所述芯片的所述有源面(8)的中心的一行电接触垫(5a,5b),以及所述绝缘层(16,26)在靠近所述垫并且在所述垫外部的所述有源面之上延伸,并且溢出到直到所述载板的所述表面(S)的所述芯片的至少一侧之上。

5.一种组件,包括下列至少一个:

-集成电路芯片(2),固定或部分覆盖在载板(4)上,以使得提供朝外部定向的所述芯片的有源面(8),所述组件具有设置在所述芯片的所述有源面上的电接触垫(5a,5b,15a,15b);

-绝缘层(6,16),设置在所述有源面上而没有覆盖所述接触垫,所述绝缘层(4)包括构成从所述芯片的所述有源表面(8)的一个边缘(20,40)一直延伸到所述载板的所述表面(S)的桥的至少一部分,所述桥支承至少一个轨线;

-导电重定向(3)或互连(13)轨线,至少部分在所述绝缘层(6,16)之上从所述接触垫一直延伸到位于所述载板上的外部点(p),

其特征在于,所述外部点位于并且建立于所述载板上,以及所述导电重定向或互连(3)轨线一直延伸到所述载板上的所述点,从而留下所述桥。

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