[发明专利]使用背面接近的集成电路芯片定制有效
申请号: | 201180053068.0 | 申请日: | 2011-11-04 |
公开(公告)号: | CN103189973A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·W·佩里;时群·萨姆·顾 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L23/48;H01L23/525;G11C17/16;G11C13/00;G11C11/16 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 宋献涛 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 背面 接近 集成电路 芯片 定制 | ||
1.一种集成电路,其包括:
衬底,其具有正面和背面;
在所述正面上的可编程元件;以及
在所述衬底中的接触所述可编程元件的通孔,其中所述可编程元件可通过从所述衬底背面选择性地施加到所述通孔的编程刺激来进行编程。
2.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述可编程元件是反熔丝。
3.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述可编程元件是熔丝。
4.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述熔丝是多晶硅熔丝。
5.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述熔丝是金属熔丝。
6.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述可编程元件是PROM。
7.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述可编程元件是RRAM。
8.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述可编程元件是MRAM。
9.根据权利要求1所述的集成电路,其进一步包括在所述背面上的传导层以方便连接到所述通孔。
10.根据权利要求9所述的集成电路,其中所述传导层是铜。
11.根据权利要求9所述的集成电路,其中所述传导层是钨。
12.根据权利要求9所述的集成电路,其中所述传导层是铝。
13.根据权利要求9所述的集成电路,其中所述传导层是金属化层。
14.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述衬底是选自由以下各项组成的群组中的材料:砷化镓、磷化铟、硅锗、铟镓砷、玻璃上硅、蓝宝石上硅、陶瓷上硅、玻璃、蓝宝石、陶瓷、双马来酰亚胺三嗪树脂BT、FR4、环氧树脂,以及环氧树脂。
15.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述衬底是硅。
16.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述通孔是TSV。
17.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述集成电路集成到选自由以下各项组成的群组的装置中:移动电话、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航装置、计算机、手持式个人通信系统PCS单元、便携式数据单元,以及固定位置数据单元。
18.一种通过以下工艺制造的集成电路产品,所述工艺包括:
提供具有正面和背面的衬底;
在所述衬底中形成通孔以提供从所述背面到所述正面上的可编程元件的电连接,其中所述可编程元件可通过从所述背面对所述通孔施加编程刺激来进行编程以建立所述集成电路的功能性。
19.根据权利要求18所述的集成电路产品,其中所述提供衬底包括提供硅衬底,且所述形成通孔包括形成TSV。
20.根据权利要求18所述的集成电路产品,其中所述提供衬底包括提供选自由以下各项组成的群组中的材料的衬底:砷化镓、磷化铟、硅锗、铟镓砷、玻璃上硅、蓝宝石上硅、陶瓷上硅、玻璃、蓝宝石、陶瓷、双马来酰亚胺三嗪树脂BT、FR4、环氧树脂,以及环氧树脂。
21.一种用于定制集成电路的方法,其包括:
提供具有正面和背面的衬底;
贯穿所述衬底形成通孔以提供从所述背面到所述正面上的可编程元件的电连接;
以及从所述背面对所述通孔施加编程刺激以对所述可编程元件进行编程以建立所述集成电路的功能性。
22.根据权利要求21所述的方法,其中所述可编程元件是熔丝。
23.根据权利要求21所述的方法,其中所述可编程元件是反熔丝。
24.根据权利要求21所述的方法,其中所述可编程元件是PROM。
25.根据权利要求21所述的方法,其中所述可编程元件是RRAM。
26.根据权利要求21所述的方法,其中所述可编程元件是MRAM。
27.根据权利要求21所述的方法,其中所述提供衬底包括提供硅衬底。
28.根据权利要求27所述的方法,其中所述形成通孔包括在所述硅衬底中形成TSV。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造