[发明专利]半导体封装用无铅玻璃和半导体封装用外套管无效
申请号: | 201180053166.4 | 申请日: | 2011-10-31 |
公开(公告)号: | CN103209936A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 桥本幸市;近藤久美子 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/093 | 分类号: | C03C3/093;C03C3/089;H01L23/08;H01L23/29;H01L23/31 |
代理公司: | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人: | 陈波;朱弋 |
地址: | 日本滋贺*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 铅玻璃 外套 | ||
1.一种半导体封装用无铅玻璃,其特征在于,作为玻璃组成,以摩尔%计含有SiO245~58%、Al2O30~6%、B2O314.5~30%、MgO0~3%、CaO0~3%、ZnO4.2~14.2%、Li2O5~12%、Na2O0~15%、K2O0~7%、Li2O+Na2O+K2O15~30%、TiO20.1~8%,且ZnO/Li2O在0.84~2的范围。
2.如权利要求1所述的半导体封装用无铅玻璃,其特征在于,以摩尔%计含有SiO249~53.6%、Al2O30.4~1.1%、B2O315.5~18.2%、MgO0~0.5%、CaO0~0.5%、ZnO7.4~9.9%、Li2O5~10%、Na2O5~11%、K2O0.1~2.3%、Li2O+Na2O+K2O19~25%、TiO21.1~4%,且ZnO/Li2O在0.85~1.5的范围。
3.如权利要求1或2所述的半导体封装用无铅玻璃,其特征在于,Li2O的含量低于9摩尔%。
4.如权利要求1~3任一项所述的半导体封装用无铅玻璃,其特征在于,SiO2+TiO2为52.1~56.5%。
5.如权利要求1~4任一项所述的半导体封装用无铅玻璃,其特征在于,与106dPa·s的粘度相当的温度在650℃以下。
6.一种半导体封装用外套管,其特征在于,所述半导体封装用外套管由权利要求1~5中任一项所述的玻璃制成。
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